Plato Depozisyon Grafit Plato Chajman PECVD

Plato Chajman PECVD Depozisyon Plato Grafit Imaj Anons Spesyal

Deskripsyon kout:

Plato Chajman PECVD VET Energy a fèt pou bay yon sipò an sekirite e inifòm pou waf yo pandan depo a, sa ki amelyore konsistans ak kalite pwosesis depo a. Avèk ekselan rezistans chalè li, Plato Grafit la ede kenbe yon anviwònman kontwole andedan chanm PECVD yo, sa ki diminye risk kontaminasyon epi asire yon efikasite pwosesis ki wo.

Voye yon imèl ban nou Telechaje kòm PDF

Detay pwodwi

Etikèt pwodwi yo

Plato chajman VET Energy PECVD a se yon transpòtè presizyon ki fèt pou pwosesis PECVD (depozisyon vapè chimik amelyore pa plasma). Plato grafit depozisyon kalite siperyè sa a fèt ak materyèl grafit ki gen gwo pite ak gwo dansite. Li gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyonèl ak lòt karakteristik. Li ka bay yon platfòm transpòtè ki estab pou pwosesis PECVD epi asire inifòmite ak platè depozisyon fim nan.

Plato chajman VET Energy PECVD yo lajman itilize nan semikondiktè, fotovoltaik, LED ak lòt domèn. Pa egzanp:

▪ Semi-kondiktè: Pwosesis PECVD pou materyèl semi-kondiktè tankou waf silikon ak waf epitaksyal.

▪ Fotovoltaik: Pwosesis PECVD pou fim mens selil solè.

▪ LED: Pwosesis PECVD pou chip LED.

Avantaj pwodwi yo

▪Amelyore kalite fim nan:Asire yon depo fim inifòm epi amelyore kalite fim nan.

▪Pwolonje lavi ekipman yo:Ekselan rezistans kont korozyon, pwolonje lavi sèvis ekipman PECVD yo.

▪Redui depans pwodiksyon:Plato grafit kalite siperyè ka diminye pousantaj fatra epi diminye depans pwodiksyon.

Materyèl grafit ki soti nan SGL:

Paramèt tipik: R6510
Endèks	Estanda tès	Valè	Inite
Gwosè grenn mwayèn	ISO 13320	10	μm
Dansite an mas	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm3³
Porosite ouvè	DIN66133	10	%
Gwosè pò mwayen	DIN66133	1.8	μm
Pèmeabilite	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dite Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistans elektrik espesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fòs fleksyon	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fòs konpresiv	DIN 51910	130	MPa
Modil Young lan	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Ekspansyon tèmik (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivite tèmik (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè ki gen gwo efikasite, pou sipòte pwosesis gwo plak G12 yo. Konsepsyon transpòtè optimize a ogmante anpil debi a, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.

Atik	Kalite	Nimewo transpòtè wafer
Bato PEVCD Grephite - Seri 156 la	156-13 bato grefit	144
	156-19 bato grefit	216
	156-21 bato grefit	240
	Bato grafit 156-23	308
Bato PEVCD Grephite - Seri 125 la	Bato grefit 125-15	196
	Bato grefit 125-19	252
	Bato grafit 125-21	280