PECVD betöltő tálca lerakódású grafittálca

Rövid leírás:

A VET Energy PECVD betöltőtálcája biztonságos és egyenletes alátámasztást biztosít a lapkáknak a leválasztás során, javítva a leválasztási folyamat következetességét és minőségét. Kiváló hőállóságának köszönhetően a grafittálca segít fenntartani a szabályozott környezetet a PECVD kamrákban, csökkentve a szennyeződés kockázatát és biztosítva a magas folyamathatékonyságot.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

A VET Energy PECVD betöltőtálcája egy precíziós hordozó, amelyet PECVD (plazma-erősítésű kémiai gőzfázisú leválasztás) eljáráshoz terveztek. Ez a kiváló minőségű leválasztó grafittálca nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafit anyagból készül. Kiváló hőállósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel rendelkezik. Stabil hordozóplatformot biztosít a PECVD eljáráshoz, és biztosítja a filmleválasztás egyenletességét és síkfelületét.

A VET Energy PECVD adagolótálcáit széles körben használják félvezető, fotovoltaikus, LED és egyéb területeken. Például:

▪ Félvezető: PECVD eljárás félvezető anyagokhoz, például szilícium ostyákhoz és epitaxiális ostyákhoz.

▪ Fotovoltaikus: PECVD eljárás napelem vékonyrétegekhez.

▪ LED: PECVD eljárás LED chipekhez.

Termék előnyei

▪A film minőségének javítása:Biztosítsa az egyenletes fólialerakódást és javítsa a fólia minőségét.

▪A berendezés élettartamának meghosszabbítása:Kiváló korrózióállóság, meghosszabbítja a PECVD berendezések élettartamát.

▪Csökkentse a termelési költségeket:A kiváló minőségű grafittálcák csökkenthetik a selejt mennyiségét és a termelési költségeket.

Grafit anyag az SGL-től:

Tipikus paraméter: R6510
Index	Vizsgálati szabvány	Érték	Egység
Átlagos szemcseméret	ISO 13320	10	μm
Térfogatsűrűség	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Nyitott porozitás	DIN66133	10	%
Közepes pórusméretű	DIN66133	1.8	μm
Áteresztőképesség	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell keménység HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fajlagos elektromos ellenállás	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hajlító szilárdság	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nyomószilárdság	DIN 51910	130	MPa
Young modulusa	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Hőtágulás (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Hővezető képesség (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatva a G12 nagyméretű szeletek feldolgozását. Az optimalizált hordozótervezés jelentősen növeli az átviteli sebességet, lehetővé téve a magasabb hozamot és az alacsonyabb termelési költségeket.

Tétel	Típus	Számlap hordozó
PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat	156-13 grefit csónak	144
	156-19 grefit csónak	216
	156-21 grefit csónak	240
	156-23 grafit csónak	308
PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat	125-15 grefit csónak	196
	125-19 grefit csónak	252
	125-21 grafit csónak	280