PECVD hleðslubakki fyrir grafítbakka

PECVD hleðslubakki Útfellingargrafítbakki Valin mynd

Stutt lýsing:

PECVD hleðslubakkinn frá VET Energy er hannaður til að veita öruggan og jafnan stuðning fyrir skífur við geymslu, sem bætir samræmi og gæði geymsluferlisins. Með framúrskarandi hitaþol hjálpar grafítbakkinn til við að viðhalda stýrðu umhverfi inni í PECVD hólfunum, dregur úr hættu á mengun og tryggir mikla skilvirkni ferlisins.

Senda okkur tölvupóst Sækja sem PDF

Vöruupplýsingar

Vörumerki

VET Energy PECVD hleðslubakki er nákvæmnisburðarefni hannað fyrir PECVD (plasma-enhanced chemical vapour deposition) ferlið. Þessi hágæða grafítbakki er úr hágæða grafítefni með mikilli hreinleika og mikilli þéttleika. Hann hefur framúrskarandi hitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika. Hann getur veitt stöðugan burðargrunn fyrir PECVD ferlið og tryggt einsleitni og flatneskju filmuútfellingarinnar.

VET Energy PECVD hleðslubakkar eru mikið notaðir í hálfleiðurum, sólarorku, LED og öðrum sviðum. Til dæmis:

▪ Hálfleiðari: PECVD-ferli fyrir hálfleiðaraefni eins og kísilskífur og epitaxialskífur.

▪ Ljósvirkjun: PECVD ferli fyrir þunnfilmur sólarsellu.

▪ LED: PECVD ferli fyrir LED flísar.

Kostir vörunnar

▪Bæta gæði kvikmynda:Tryggið jafna filmuútfellingu og bætið filmugæði.

▪Lengja líftíma búnaðar:Frábær tæringarþol, lengir líftíma PECVD búnaðar.

▪Lækka framleiðslukostnað:Hágæða grafítbakkar geta dregið úr skraphlutfalli og framleiðslukostnaði.

Grafítefni frá SGL:

Dæmigert breytu: R6510
Vísitala	Prófunarstaðall	Gildi	Eining
Meðalkornastærð	ISO 13320	10	míkrómetrar
Þéttleiki rúmmáls	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opin gegndræpi	DIN66133	10	%
Miðlungsstærð pora	DIN66133	1.8	míkrómetrar
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstök rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þjöppunarstyrkur	DIN 51910	130	MPa
Youngs stuðull	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Varmaþensla (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir framleiðslu á sólarsellum með mikilli skilvirkni og styður vinnslu á stórum G12 skífum. Bjartsýni hönnun flutningsaðila eykur afköst verulega, sem gerir kleift að auka afköst og lækka framleiðslukostnað.

Vara	Tegund	Fjöldi skífuflutningsaðila
PEVCD Grephite bátur - 156 serían	156-13 grefítbátur	144
	156-19 grefítbátur	216
	156-21 grefítbátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 serían	125-15 grefítbátur	196
	125-19 grefítbátur	252
	125-21 grafítbátur	280