Bahagian Setengah Bulan Grafit Bersalut SiCialah komponen utama yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya untuk peralatan epitaxial SiC. Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuat bahagian halfmoon dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan hayat perkhidmatan yang cemerlang, serta rintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.
Bahan asas: grafit ketulenan tinggi
Keperluan kesucian:kandungan karbon ≥99.99%, kandungan abu ≤5ppm, untuk memastikan tiada kekotoran dimendakan untuk mencemarkan lapisan epitaxial pada suhu tinggi.
Kelebihan prestasi:
Kekonduksian haba yang tinggi:Kekonduksian terma pada suhu bilik mencapai 150W/(m・K), yang hampir dengan paras kuprum dan boleh memindahkan haba dengan cepat.
Pekali pengembangan rendah:5×10-6/℃ (25-1000℃), sepadan dengan substrat silikon karbida (4.2×10-6/ ℃), mengurangkan keretakan salutan yang disebabkan oleh tekanan haba.
Ketepatan pemprosesan:Toleransi dimensi ±0.05mm dicapai melalui pemesinan CNC untuk memastikan pengedap ruang.
Aplikasi CVD SiC dan CVD TaC yang berbeza
| Salutan | Proses | Perbandingan | Aplikasi biasa |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200 ℃ Tekanan: 10-100 Torr | Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, rintangan pengoksidaan yang sangat baik (stabil di bawah 1600 ℃) | Relau epitaxial universal, sesuai untuk atmosfera konvensional seperti hidrogen dan silane |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800 ℃ Tekanan: 1-10 Torr | Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan kakisan (boleh menahan gas menghakis seperti HCl, NH₃, dll.) | Persekitaran yang sangat menghakis (seperti epitaksi GaN dan peralatan etsa), atau proses khas yang memerlukan suhu ultra tinggi 2600°C |
Pemeriksaan kualiti
Ketebalan salutan: tolok ketebalan laser (ketepatan ±1um) atau analisis keratan rentas SEM.
Kekuatan ikatan: ujian calar (beban kritikal > 50N) atau ujian ultrasonik (halaju bunyi > 5000m/s).
Rintangan kakisan: kadar kehilangan jisim (<0.1 mg/cm²・h) diuji dalam atmosfera HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy ialah pengilang profesional yang memfokuskan pada R&D dan pengeluaran bahan termaju mewah seperti grafit, silikon karbida, kuarza, serta rawatan bahan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dll.
Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.
Kelebihan VET Energy termasuk:
• Kilang sendiri dan makmal profesional;
• Tahap ketulenan dan kualiti peneraju industri;
• Harga yang kompetitif & masa penghantaran yang cepat;
• Pelbagai perkongsian industri di seluruh dunia;
Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang dan makmal kami pada bila-bila masa!
