Bahagian Halfmoon Grafit Bersalut SiCmerupakan komponen utama yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya untuk peralatan epitaksi SiC. Kami menggunakan teknologi berpaten kami untuk membuat bahagian separuh bulan dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan jangka hayat yang sangat baik, serta rintangan kimia dan sifat kestabilan terma yang tinggi.
Bahan asas: grafit ketulenan tinggi
Keperluan ketulenan:kandungan karbon ≥99.99%, kandungan abu ≤5ppm, untuk memastikan tiada bendasing termendak untuk mencemari lapisan epitaksial pada suhu tinggi.
Kelebihan prestasi:
Kekonduksian terma yang tinggi:Kekonduksian terma pada suhu bilik mencapai 150W/(m・K), yang hampir dengan paras kuprum dan boleh memindahkan haba dengan cepat.
Pekali pengembangan rendah:5×10-6/℃ (25-1000℃), sepadan dengan substrat silikon karbida (4.2×10-6/℃), mengurangkan keretakan salutan yang disebabkan oleh tekanan haba.
Ketepatan pemprosesan:Toleransi dimensi ±0.05mm dicapai melalui pemesinan CNC untuk memastikan kedap ruang.
Aplikasi berbeza bagi CVD SiC dan CVD TaC
| Salutan | Proses | Perbandingan | Aplikasi tipikal |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr | Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, rintangan pengoksidaan yang sangat baik (stabil di bawah 1600℃) | Relau epitaksi universal, sesuai untuk atmosfera konvensional seperti hidrogen dan silana |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr | Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan kakisan (boleh menahan gas menghakis seperti HCl, NH₃, dll.) | Persekitaran yang sangat menghakis (seperti epitaksi GaN dan peralatan etsa), atau proses khas yang memerlukan suhu ultra tinggi iaitu 2600°C |
Pemeriksaan kualiti
Ketebalan salutan: tolok ketebalan laser (ketepatan ±1um) atau analisis keratan rentas SEM.
Kekuatan ikatan: ujian calar (beban kritikal > 50N) atau ujian ultrasonik (halaju bunyi > 5000m/s).
Rintangan kakisan: kadar kehilangan jisim (<0.1 mg/cm²・j) diuji dalam atmosfera HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy ialah pengeluar profesional yang menumpukan pada R&D dan pengeluaran bahan termaju mewah seperti grafit, silikon karbida, kuarza, serta rawatan bahan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dan sebagainya. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.
Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.
Kelebihan Tenaga VET termasuk:
• Kilang sendiri dan makmal profesional;
• Tahap ketulenan dan kualiti yang terkemuka dalam industri;
• Harga yang kompetitif & masa penghantaran yang cepat;
• Pelbagai perkongsian industri di seluruh dunia;
Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang dan makmal kami pada bila-bila masa!
