Tavă de încărcare PECVD, tavă de grafit pentru depunere

Tavă de încărcare PECVD, depunere, tavă de grafit, imagine prezentată

Scurtă descriere:

Tava de încărcare PECVD de la VET Energy este concepută pentru a oferi un suport sigur și uniform pentru napolitane în timpul depunerii, îmbunătățind consistența și calitatea procesului de depunere. Datorită rezistenței sale excelente la căldură, tava de grafit ajută la menținerea unui mediu controlat în interiorul camerelor PECVD, reducând riscul de contaminare și asigurând o eficiență ridicată a procesului.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Tava de încărcare VET Energy PECVD este un suport de precizie conceput pentru procesul PECVD (depunere chimică în fază de vapori cu plasmă). Această tavă de grafit de depunere de înaltă calitate este fabricată din material grafit de înaltă puritate și densitate. Are o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici. Poate oferi o platformă stabilă pentru suportul procesului PECVD și poate asigura uniformitatea și planeitatea depunerii peliculei.

Tăvile de încărcare VET Energy PECVD sunt utilizate pe scară largă în semiconductori, fotovoltaică, LED și alte domenii. De exemplu:

▪ Semiconductor: Proces PECVD pentru materiale semiconductoare, cum ar fi napolitane de siliciu și napolitane epitaxiale.

▪ Fotovoltaic: proces PECVD pentru pelicule subțiri de celule solare.

▪ LED: Procesul PECVD pentru cipuri LED.

Avantajele produsului

▪Îmbunătățiți calitatea filmului:Asigurați o depunere uniformă a peliculei și îmbunătățiți calitatea acesteia.

▪Prelungește durata de viață a echipamentului:Rezistență excelentă la coroziune, prelungește durata de viață a echipamentelor PECVD.

▪Reducerea costurilor de producție:Tăvile de grafit de înaltă calitate pot reduce rata de deșeuri și costurile de producție.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a granulelor	ISO 13320	10	μm
Densitatea în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiune medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistență electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistență la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistență la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul lui Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este special conceput pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, suportând procesarea de plachete de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al purtătorilor crește semnificativ randamentul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Suport de napolitane cu număr
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	Barcă de grefit 156-13	144
	Barcă de grefit 156-19	216
	Barcă de grefit 156-21	240
	Barcă de grafit 156-23	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	Barcă de grefit 125-15	196
	Barcă din grefit 125-19	252
	Barcă din grafită 125-21	280