VET Energy PECVD-laddningstråget är en precisionsbärare utformad för PECVD-processen (plasmaförstärkt kemisk ångdeponering). Denna högkvalitativa deponeringsgrafitbricka är tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet. Den har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper. Den kan tillhandahålla en stabil bärarplattform för PECVD-processen och säkerställa enhetlighet och planhet i filmdeponeringen.
VET Energy PECVD-lastbrickor används ofta inom halvledar-, solcells-, LED- och andra områden. Till exempel:
▪ Halvledare: PECVD-process för halvledarmaterial såsom kiselskivor och epitaxiella skivor.
▪ Fotovoltaisk: PECVD-process för tunnfilmer av solceller.
▪ LED: PECVD-process för LED-chip.
Produktfördelar
▪Förbättra filmkvaliteten:Säkerställ jämn filmavsättning och förbättra filmkvaliteten.
▪Förläng utrustningens livslängd:Utmärkt korrosionsbeständighet, förlänger livslängden för PECVD-utrustning.
▪Minska produktionskostnaderna:Högkvalitativa grafitbrickor kan minska kassationshastigheten och produktionskostnaderna.
Grafitmaterial från SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandard | Värde | Enhet |
| Genomsnittlig kornstorlek | ISO 13320 | 10 | μm |
| Skrymdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Öppen porositet | DIN66133 | 10 | % |
| Medelstor porstorlek | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hårdhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Böjhållfasthet | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tryckhållfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk expansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Värmeledningsförmåga (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den är specifikt utformad för högeffektiv tillverkning av solceller och stöder bearbetning av stora G12-wafers. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.
| Punkt | Typ | Nummerskivorbärare |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grefitbåt | 144 |
| 156-19 grefitbåt | 216 | |
| 156-21 grefitbåt | 240 | |
| 156-23 grafitbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefitbåt | 196 |
| 125-19 grefitbåt | 252 | |
| 125-21 grafitbåt | 280 |
