Trei ya Kupakia ya PECVD Trei ya Grafiti ya Uwekaji

Trei ya PECVD Inapakia Trei ya Uwekaji wa Grafiti Trei Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Trei ya Upakiaji ya PECVD ya VET Energy imeundwa kutoa usaidizi salama na sawa kwa wafers wakati wa uwekaji, kuboresha uthabiti na ubora wa mchakato wa uwekaji. Kwa upinzani wake bora wa joto, Trei ya Graphite husaidia kudumisha mazingira yanayodhibitiwa ndani ya vyumba vya PECVD, kupunguza hatari ya uchafuzi na kuhakikisha ufanisi mkubwa wa mchakato.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Trei ya kupakia ya VET Energy PECVD ni kibebaji cha usahihi kilichoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa mvuke wa kemikali ulioimarishwa na plasma). Trei hii ya grafiti ya uwekaji wa ubora wa juu imetengenezwa kwa nyenzo za grafiti zenye usafi wa juu na msongamano mkubwa. Ina upinzani bora wa halijoto ya juu, upinzani wa kutu, utulivu wa vipimo na sifa zingine. Inaweza kutoa jukwaa thabiti la kibebaji kwa mchakato wa PECVD na kuhakikisha usawa na ulalo wa uwekaji wa filamu.

Trei za kupakia za VET Energy PECVD hutumika sana katika semiconductor, photovoltaic, LED na nyanja zingine. Kwa mfano:

▪ Semikondakta: Mchakato wa PECVD kwa vifaa vya nusu-semiconductor kama vile wafer za silikoni na wafer za epitaxial.

▪ Photovoltaic: Mchakato wa PECVD kwa filamu nyembamba za seli za jua.

▪ LED: Mchakato wa PECVD kwa chipsi za LED.

Faida za Bidhaa

▪Boresha ubora wa filamu:Hakikisha uwekaji wa filamu sawa na uboresha ubora wa filamu.

▪Ongeza muda wa matumizi ya vifaa:Upinzani bora wa kutu, huongeza muda wa huduma wa vifaa vya PECVD.

▪Punguza gharama za uzalishaji:Trei za grafiti zenye ubora wa juu zinaweza kupunguza kiwango cha chakavu na kupunguza gharama za uzalishaji.

Nyenzo ya grafiti kutoka SGL:

Kigezo cha kawaida: R6510
Kielezo	Kiwango cha majaribio	Thamani	Kitengo
Ukubwa wa wastani wa nafaka	ISO 13320	10	μm
Msongamano wa wingi	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Unyevu wazi	DIN66133	10	%
Ukubwa wa wastani wa vinyweleo	DIN66133	1.8	μm
Upenyezaji	DIN 51935	0.06	sentimita²/sekunde
Ugumu wa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Upinzani maalum wa umeme	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Nguvu ya kunyumbulika	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nguvu ya kubana	DIN 51910	130	MPa
Moduli ya Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Upanuzi wa joto (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Upitishaji joto (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua zenye ufanisi mkubwa, ikisaidia usindikaji wa wafer kubwa wa G12. Ubunifu ulioboreshwa wa mbebaji huongeza kwa kiasi kikubwa uzalishaji, na kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama za chini za uzalishaji.

Bidhaa	Aina	Mbebaji wa nambari ya wafer
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 156	156-13 mashua ya grephite	144
	156-19 mashua ya grephite	216
	156-21 mashua ya grephite	240
	Boti ya grafiti 156-23	308
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 125	Boti ya grephite 125-15	196
	Boti ya grephite 125-19	252
	Boti ya grifiti 125-21	280