PECVD ஏற்றுதல் தட்டு படிவு கிராஃபைட் தட்டு

VET எனர்ஜி PECVD லோடிங் ட்ரே என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன ஆவிப் படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான தாங்கியாகும். இந்த உயர்தரப் படிவு கிராஃபைட் ட்ரே, உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது. இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான தாங்கித் தளத்தை வழங்குவதோடு, படலப் படிவின் சீரான தன்மையையும் சமதளத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

VET எனர்ஜி PECVD லோடிங் ட்ரேக்கள் குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்தம், LED மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உதாரணமாக:

▪ குறைக்கடத்தி: சிலிக்கான் வேஃபர்கள் மற்றும் எபிடெக்சியல் வேஃபர்கள் போன்ற குறைக்கடத்திப் பொருட்களுக்கான PECVD செயல்முறை.

▪ ஒளிமின்னழுத்தம்: சூரிய மின்கல மென்படலங்களுக்கான PECVD செயல்முறை.

▪ LED: LED சில்லுகளுக்கான PECVD செயல்முறை.

தயாரிப்பு நன்மைகள்

▪திரைப்படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துங்கள்:சீரான படலப் படிவை உறுதிசெய்து, படலத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துங்கள்.

▪உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன், PECVD உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

▪உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கவும்:உயர்தர கிராஃபைட் தட்டுகள் கழிவு விகிதத்தைக் குறைத்து, உற்பத்திச் செலவுகளையும் குறைக்க உதவும்.