Графітова деталь у формі півмісяця з покриттям SiC для епітаксіальної печі з карбіду кремнію

Короткий опис:

VET Energy є професійним виробником і постачальником основних компонентів епітаксіальних печей з карбіду кремнію. Наші графітові деталі у формі півмісяця з покриттям SiC виготовлені з високочистого графіту в поєднанні з передовою технологією CVD-покриття. Вони розроблені для високотемпературних і висококорозійних епітаксіальних середовищ. Високочистий графіт забезпечує компоненту чудову стійкість до високих температур (>1600℃) і термічну стабільність, забезпечуючи однорідність теплового поля; CVD-покриття утворює щільний захисний шар на поверхні завдяки технології CVD, значно покращуючи антиокислювальні та антитравлячі властивості, а також подовжуючи термін служби більш ніж у 3 рази.

Матеріал:Графіт високої чистоти

Очищення:<5 ppm

Покриття:CVD-SiC або CVD-TaC

Налаштування:Фірмова піч або OEM

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Графітова деталь у формі півмісяця з покриттям SiCє ключовим компонентом, що використовується у виробництві напівпровідників, особливо для епітаксіального обладнання з карбіду кремнію. Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для виготовлення напівмісяцевих деталей з надзвичайно високою чистотою, гарною рівномірністю покриття та чудовим терміном служби, а також високою хімічною стійкістю та термостабільністю.

Основний матеріал: високочистий графіт
Вимоги до чистоти:вміст вуглецю ≥99,99%, вміст золи ≤5 ppm, щоб забезпечити відсутність домішок, які можуть забруднити епітаксіальний шар за високих температур.
Переваги продуктивності:
Висока теплопровідність:Теплопровідність за кімнатної температури досягає 150 Вт/(м·K), що близько до рівня міді, і дозволяє швидко передавати тепло.
Низький коефіцієнт розширення:5×10^-6/℃ (25-1000℃), що відповідає підкладці з карбіду кремнію (4,2×10^-6/℃), зменшуючи розтріскування покриття, спричинене термічним напруженням.
Точність обробки:Допуск розмірів ±0,05 мм досягається за допомогою обробки на верстаті з ЧПК для забезпечення герметизації камери.

Диференційоване застосування CVD SiC та CVD TaC

Покриття	Процес	Порівняння	Типове застосування
CVD-SiC	Температура: 1000-1200℃ Тиск: 10-100 торр	Твердість HV2500, товщина 50-100 мкм, відмінна стійкість до окислення (стабільна нижче 1600 ℃)	Універсальні епітаксіальні печі, придатні для звичайних атмосфер, таких як водень та силан
CVD-TaC	Температура: 1600-1800℃ Тиск: 1-10 торр	Твердість HV3000, товщина 20-50 мкм, надзвичайно стійкий до корозії (витримує агресивні гази, такі як HCl, NH₃ тощо)	Висококорозійні середовища (такі як обладнання для епітаксії та травлення GaN) або спеціальні процеси, що вимагають надвисоких температур 2600°C

Перевірка якості

Товщина покриття: лазерний товщиномір (точність ±1 мкм) або поперечний переріз за допомогою SEM.
Міцність зчеплення: випробування на подряпини (критичне навантаження > 50 Н) або ультразвукове випробування (швидкість звуку > 5000 м/с).
Корозійна стійкість: швидкість втрати маси (<0,1 мг/см²·год) випробувана в атмосфері HCl (5 об.%, 1600℃).

VET Energy — професійний виробник, що спеціалізується на дослідженнях, розробках та виробництві високоякісних передових матеріалів, таких як графіт, карбід кремнію, кварц, а також на обробці матеріалів, такій як покриття SiC, покриття TaC, скловуглецеве покриття, піролітичне вуглецеве покриття тощо. Продукція широко використовується у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати вам більш професійні матеріальні рішення.

Переваги VET Energy включають:
• Власний завод та професійна лабораторія;
• Провідні в галузі рівні чистоти та якості;
• Конкурентна ціна та швидкий час доставки;
• Численні галузеві партнерства по всьому світу;

Ми раді запрошувати вас відвідати наш завод та лабораторію в будь-який час!