VET Energy PECVD yuklash patnisi PECVD (plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bug'larni cho'ktirish) jarayoni uchun mo'ljallangan aniq tashuvchidir. Ushbu yuqori sifatli cho'ktirish grafit patnisi yuqori tozalikdagi, yuqori zichlikdagi grafit materialidan tayyorlangan. U yuqori haroratga chidamlilik, korroziyaga chidamlilik, o'lchovli barqarorlik va boshqa xususiyatlarga ega. U PECVD jarayoni uchun barqaror tashuvchi platformani taqdim etishi va plyonkalarni cho'ktirishning bir xilligi va tekisligini ta'minlashi mumkin.
VET Energy PECVD yuklash patnislari yarimo'tkazgichlar, fotovoltaiklar, LED va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi. Masalan:
▪ Yarimo'tkazgich: Kremniy plastinkalari va epitaksial plastinkalar kabi yarimo'tkazgich materiallar uchun PECVD jarayoni.
▪ Fotovoltaik: Quyosh batareyalari yupqa plyonkalari uchun PECVD jarayoni.
▪ LED: LED chiplari uchun PECVD jarayoni.
Mahsulotning afzalliklari
▪Film sifatini yaxshilash:Bir xil plyonka qo'llanilishini ta'minlash va plyonka sifatini yaxshilash.
▪Uskunaning ishlash muddatini uzaytiring:Zo'r korroziyaga chidamlilik, PECVD uskunalarining xizmat muddatini uzaytiradi.
▪Ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish:Yuqori sifatli grafit patnislari chiqindilar miqdorini kamaytirishi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirishi mumkin.
SGL dan olingan grafit materiali:
| Odatda parametr: R6510 | |||
| Indeks | Sinov standarti | Qiymat | Birlik |
| O'rtacha don hajmi | ISO 13320 | 10 | mkm |
| Ommaviy zichlik | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/sm33 |
| Ochiq g'ovaklilik | DIN66133 | 10 | % |
| O'rtacha teshik hajmi | DIN66133 | 1.8 | mkm |
| O'tkazuvchanlik | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rokvell qattiqligi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Maxsus elektr qarshiligi | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülme kuchi | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Siqish kuchi | DIN 51910 | 130 ta | MPa |
| Young moduli | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termal kengayish (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
U yuqori samarali quyosh batareyalarini ishlab chiqarish uchun maxsus ishlab chiqilgan bo'lib, G12 katta o'lchamli plastinkalarni qayta ishlashni qo'llab-quvvatlaydi. Optimallashtirilgan tashuvchi dizayni o'tkazuvchanlikni sezilarli darajada oshiradi, bu esa yuqori hosildorlik darajasi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish imkonini beradi.
| Mahsulot | Turi | Raqamli gofret tashuvchisi |
| PEVCD Grefit qayig'i - 156 seriyasi | 156-13 grefit qayig'i | 144 |
| 156-19 grefit qayig'i | 216 | |
| 156-21 grefit qayig'i | 240 | |
| 156-23 grafit qayig'i | 308 | |
| PEVCD Grefit qayig'i - 125 seriyasi | 125-15 grefit qayig'i | 196 |
| 125-19 grefit qayig'i | 252 | |
| 125-21 grfit qayig'i | 280 |
