SiC-päällystetty grafiittinen puolikuun muotoinen osa piikarbidiepitaksiaaliuuniin

Lyhyt kuvaus:

VET Energy on piikarbidiepitaksiaalisten uunien ydinosien ammattimainen valmistaja ja toimittaja. Piikarbidipinnoitetussa grafiittisessa puolikuuosassamme käytetään erittäin puhdasta grafiittia yhdistettynä edistyneeseen CVD-pinnoiteteknologiaan. Se on suunniteltu korkeisiin lämpötiloihin ja erittäin syövyttävään epitaksiaaliseen ympäristöön. Erittäin puhdas grafiitti antaa komponentille erinomaisen lämmönkestävyyden (>1600 ℃) ja lämpöstabiilisuuden varmistaen lämpökentän tasaisuuden. CVD-pinnoite muodostaa pinnalle tiheän suojakerroksen CVD-teknologian avulla, mikä parantaa merkittävästi hapettumisen ja syöpymisen esto-ominaisuuksia ja pidentää käyttöikää yli kolminkertaisesti.

Materiaali:Erittäin puhdasta grafiittia

Puhdistus:<5 ppm

Pinnoite:CVD-SiC tai CVD-TaC

Mukauttaminen:Merkkiuuni tai OEM

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-päällystetty grafiitti puolikuun muotoinen osaon keskeinen komponentti puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti piikarbidiepitaksiaalilaitteissa. Käytämme patentoitua teknologiaamme valmistaaksemme puolikuun muotoisen osan erittäin puhtaalla, tasaisella pinnoitteella ja erinomaisella käyttöiällä sekä korkealla kemikaalien kestävyydellä ja lämmönkestävyydellä.

Pohjamateriaali: erittäin puhdas grafiitti
Puhtausvaatimukset:hiilipitoisuus ≥99,99%, tuhkapitoisuus ≤5ppm, jotta varmistetaan, ettei epäpuhtauksia saostu ja ne saastuttaisivat epitaksiaalista kerrosta korkeissa lämpötiloissa.
Suorituskyvyn edut:
Korkea lämmönjohtavuus:Lämmönjohtavuus huoneenlämmössä saavuttaa 150 W/(m·K), mikä on lähellä kuparin tasoa ja voi siirtää lämpöä nopeasti.
Alhainen laajenemiskerroin:5×10^-6/℃ (25-1000℃), mikä vastaa piikarbidisubstraattia (4,2 × 10^-6/℃), mikä vähentää lämpöjännityksen aiheuttamaa pinnoitteen halkeilua.
Käsittelyn tarkkuus:Kammion tiiviyden varmistamiseksi saavutetaan CNC-koneistuksella ±0,05 mm:n mittatoleranssi.

CVD-piikarbidin ja CVD-takarbidin eriytetyt sovellukset

Pinnoite	Käsitellä	Vertailu	Tyypillinen käyttökohde
CVD-SiC	Lämpötila: 1000-1200 ℃ Paine: 10-100 Torr	Kovuus HV2500, paksuus 50-100 µm, erinomainen hapettumisenkestävyys (stabiili alle 1600 ℃)	Yleiskäyttöiset epitaksiaaliuunit, jotka sopivat perinteisiin ilmakehiin, kuten vety ja silaani
CVD-TaC	Lämpötila: 1600-1800 ℃ Paine: 1-10 Torr	Kovuus HV3000, paksuus 20–50 µm, erittäin korroosionkestävä (kestää syövyttäviä kaasuja, kuten HCl:a, NH₃:ta jne.)	Erittäin syövyttävät ympäristöt (kuten GaN-epitaksian ja etsauslaitteiden käyttö) tai erikoisprosessit, jotka vaativat erittäin korkeita lämpötiloja, jopa 2600 °C

Laaduntarkastus

Pinnoitteen paksuus: laserpaksuusmittari (tarkkuus ±1 µm) tai SEM-poikkileikkausanalyysi.
Liimauslujuus: naarmuuntumiskoe (kriittinen kuormitus > 50 N) tai ultraäänitestaus (äänen nopeus > 5000 m/s).
Korroosionkestävyys: massahäviönopeus (<0,1 mg/cm²・h) testattu HCl-atmosfäärissä (5 tilavuusprosenttia, 1600 ℃).

VET Energy on ammattimainen valmistaja, joka keskittyy korkealaatuisten edistyneiden materiaalien, kuten grafiitin, piikarbidin ja kvartsin, tutkimukseen ja kehitykseen sekä tuotantoon. Lisäksi se on erikoistunut materiaalien käsittelyyn, kuten piikarbidi-, takakarbidi-, lasihiili- ja pyrolyyttiseen hiilipinnoitteeseen. Tuotteita käytetään laajalti aurinkosähkössä, puolijohteissa, uudessa energiassa, metallurgiassa jne.

Tekninen tiimimme tulee kotimaisista huippututkimuslaitoksista ja voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

VET Energyn etuihin kuuluvat:
• Oma tehdas ja ammattimainen laboratorio;
• Alan johtavat puhtaustasot ja laatu;
• Kilpailukykyinen hinta ja nopea toimitusaika;
• Useita toimialakumppanuuksia maailmanlaajuisesti;

Tervetuloa tutustumaan tehtaaseen ja laboratorioon milloin tahansa!