PECVD લોડિંગ ટ્રે ડિપોઝિશન ગ્રેફાઇટ ટ્રે

VET એનર્જી PECVD લોડિંગ ટ્રે એ PECVD (પ્લાઝ્મા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ એક ચોકસાઇ વાહક છે. આ ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ડિપોઝિશન ગ્રેફાઇટ ટ્રે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલી છે. તેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે. તે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર વાહક પ્લેટફોર્મ પ્રદાન કરી શકે છે અને ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતાની ખાતરી કરી શકે છે.

VET એનર્જી PECVD લોડિંગ ટ્રેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર, ફોટોવોલ્ટેઇક, LED અને અન્ય ક્ષેત્રોમાં વ્યાપકપણે થાય છે. ઉદાહરણ તરીકે:

▪ સેમિકન્ડક્ટર: સિલિકોન વેફર્સ અને એપિટેક્સિયલ વેફર્સ જેવા સેમિકન્ડક્ટર મટિરિયલ્સ માટે PECVD પ્રક્રિયા.

▪ ફોટોવોલ્ટેઇક: સૌર કોષ પાતળી ફિલ્મો માટે PECVD પ્રક્રિયા.

▪ LED: LED ચિપ્સ માટે PECVD પ્રક્રિયા.

ઉત્પાદનના ફાયદા

▪ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો:ફિલ્મનું એકસમાન નિક્ષેપણ સુનિશ્ચિત કરો અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરો.

▪સાધનોનું આયુષ્ય વધારવું:ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર, PECVD સાધનોની સેવા જીવન લંબાવે છે.

▪ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડો:ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ગ્રેફાઇટ ટ્રે સ્ક્રેપ રેટ ઘટાડી શકે છે અને ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડી શકે છે.