PECVD жүктөөчү лоток графит чөктүрүүчү лоток

PECVD жүктөөчү лотоктун графиттик лотокту жайгаштыруу боюнча сунушталган сүрөт

Кыскача сүрөттөмө:

VET Energy компаниясынын PECVD жүктөөчү табагы пластиналарды чөктүрүү учурунда коопсуз жана бирдей колдоону камсыз кылуу үчүн иштелип чыккан, бул чөктүрүү процессинин ырааттуулугун жана сапатын жакшыртат. Эң сонун ысыкка туруктуулугу менен графит табагы PECVD камераларынын ичинде көзөмөлдөнгөн чөйрөнү сактоого жардам берет, булгануу коркунучун азайтат жана жогорку процесстин натыйжалуулугун камсыз кылат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF форматында жүктөп алуу

Продукциянын чоо-жайы

Продукциянын тегдери

VET Energy PECVD жүктөөчү табакчасы - PECVD (плазма менен күчөтүлгөн химиялык буу менен чөктүрүү) процесси үчүн иштелип чыккан тактыктагы ташуучу. Бул жогорку сапаттагы чөктүрүүчү графит табакчасы жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит материалынан жасалган. Ал жогорку температурага, коррозияга туруктуулукка, өлчөмдүү туруктуулукка жана башка мүнөздөмөлөргө эң сонун ээ. Ал PECVD процесси үчүн туруктуу ташуучу платформаны камсыздай алат жана пленка чөктүрүүнүн бирдейлигин жана тегиздигин камсыздай алат.

VET Energy PECVD жүктөөчү лотоктору жарым өткөргүчтөрдө, фотоэлектрдик, LED жана башка тармактарда кеңири колдонулат. Мисалы:

▪ Жарым өткөргүч: Кремний пластиналары жана эпитаксиалдык пластиналар сыяктуу жарым өткөргүч материалдар үчүн PECVD процесси.

▪ Фотоэлектрдик: күн батареяларынын жука пленкалары үчүн PECVD процесси.

▪ LED: LED чиптери үчүн PECVD процесси.

Продукциянын артыкчылыктары

▪Кинотасманын сапатын жакшыртуу:Плёнканын бирдей тартылышын камсыз кылуу жана плёнканын сапатын жакшыртуу.

▪Жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу:Мыкты коррозияга туруктуулук, PECVD жабдууларынын кызмат мөөнөтүн узартуу.

▪Өндүрүш чыгымдарын азайтуу:Жогорку сапаттагы графит лотоктору калдыктардын көлөмүн азайтып, өндүрүш чыгымдарын азайта алат.

SGL компаниясынын графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Баалуулук	Бирдик
Дандын орточо өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Көлөмдүк тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см3³
Ачык кеуектүүлүк	DIN66133	10	%
Орточо тешикчелердин өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөрүмдүүлүгү	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквеллдин катуулугу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылыгы	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Ийилүүнүн күчү	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысылуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Жылуулук кеңейүүсү (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ал G12 чоң өлчөмдөгү пластиналарды иштетүүнү колдогон жогорку натыйжалуу күн батареяларын өндүрүү үчүн атайын иштелип чыккан. Оптималдаштырылган алып жүрүүчүнүн дизайны өткөрүү жөндөмдүүлүгүн бир топ жогорулатат, бул жогорку түшүмдүүлүк көрсөткүчтөрүн жана өндүрүш чыгымдарын төмөндөтүүгө мүмкүндүк берет.

Буюм	Түрү	Номердик пластина ташуучу
PEVCD Грефит кайыгы - 156 сериясы	156-13 грефит кайыгы	144
	156-19 грефит кайыгы	216
	156-21 грефит кайыгы	240
	156-23 графит кайыгы	308
PEVCD Грефит кайыгы - 125 сериясы	125-15 грифит кайыгы	196
	125-19 грефит кайыгы	252
	125-21 грфит кайыгы	280