ຖາດໂຫຼດ PECVD ຖາດກຣາໄຟດທີ່ວາງໄວ້

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ຖາດໂຫຼດ PECVD ຂອງ VET Energy ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຫ້ການຮອງຮັບທີ່ປອດໄພ ແລະ ສະໝໍ່າສະເໝີສຳລັບແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການວາງຊັ້ນ. ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຖາດ Graphite ຊ່ວຍຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ພາຍໃນຫ້ອງ PECVD, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນ ແລະ ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫລດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍຜະລິດຕະພັນ

ຖາດບັນຈຸ VET Energy PECVD ເປັນຕົວຮັບຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການ PECVD (ການວາງທາດໄອລະເຫີຍເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ). ຖາດແກຣໄຟຕ໌ການວາງທາດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸແກຣໄຟຕ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ. ມັນມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິ ແລະ ລັກສະນະອື່ນໆທີ່ດີເລີດ. ມັນສາມາດສະໜອງແພລດຟອມຕົວຮັບທີ່ໝັ້ນຄົງສໍາລັບຂະບວນການ PECVD ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມລຽບນຽນຂອງການວາງທາດຟິມ.

ຖາດໂຫຼດ VET Energy PECVD ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານແສງອາທິດ, ໄຟ LED ແລະ ຂົງເຂດອື່ນໆ. ຕົວຢ່າງ:

▪ ເຊມິຄອນດັກເຕີ: ຂະບວນການ PECVD ສຳລັບວັດສະດຸເຊມິຄອນດັກເຕີ ເຊັ່ນ: ເວເຟີຊິລິໂຄນ ແລະ ເວເຟີ epitaxial.

▪ ພະລັງງານແສງຕາເວັນ: ຂະບວນການ PECVD ສຳລັບຟິມບາງໆຂອງເຊວແສງຕາເວັນ.

▪ LED: ຂະບວນການ PECVD ສຳລັບຊິບ LED.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ

▪ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ:ຮັບປະກັນການວາງຊັ້ນຟິມໃຫ້ເປັນເອກະພາບ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຟິມ.

▪ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ:ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ PECVD.

▪ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ:ຖາດແກຣໄຟທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການເສດເຫຼືອ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ.

ວັດສະດຸກຣາໄຟດຈາກ SGL:

ພາລາມິເຕີທົ່ວໄປ: R6510
ດັດຊະນີ	ມາດຕະຖານການທົດສອບ	ມູນຄ່າ	ໜ່ວຍ
ຂະໜາດເມັດພືດໂດຍສະເລ່ຍ	ISO 13320	10	ໄມຄຣມ
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ	DIN IEC 60413/204	1.83	ກຣາມ/ຊມ³
ຮູຂຸມຂົນເປີດ	DIN66133	10	%
ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ	DIN66133	1.8	ໄມຄຣມ
ການຊຶມຜ່ານ	DIN 51935	0.06	ຊມ²/ວິນາທີ
ຄວາມແຂງ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ	DIN IEC 60413/501	60	MPa
ຄວາມແຮງບີບອັດ	DIN 51910	130	MPa
ໂມດູນຂອງ Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ມັນຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ຮອງຮັບການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຕົວນຳທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍເພີ່ມປະລິມານການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນ ແລະ ຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ຳລົງ.

ລາຍການ	ປະເພດ	ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເວເຟີໝາຍເລກ
ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 156	ເຮືອກຣີໄຟ 156-13	144
	ເຮືອກຣີໄຟ 156-19	216
	ເຮືອກຣີໄຟ 156-21	240
	ເຮືອແກຣໄຟ 156-23	308
ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125	ເຮືອກຣີໄຟ 125-15	196
	ເຮືອກຣີໄຟ 125-19	252
	ເຮືອກຣາຟ 125-21	280