De VET Energy PECVD-laadbak is een precisiedrager ontworpen voor het PECVD-proces (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Deze hoogwaardige grafietbak is gemaakt van zeer zuiver grafiet met een hoge dichtheid. Het materiaal heeft een uitstekende hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, vormvastheid en andere eigenschappen. Het biedt een stabiel platform voor het PECVD-proces en garandeert een uniforme en vlakke filmafzetting.
De PECVD-laadtrays van VET Energy worden veel gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche, LED- en andere sectoren. Bijvoorbeeld:
▪ Halfgeleider: PECVD-proces voor halfgeleidermaterialen zoals siliciumwafers en epitaxiale wafers.
▪ Fotovoltaïsch: PECVD-proces voor dunne films van zonnecellen.
▪ LED: PECVD-proces voor LED-chips.
Productvoordelen
▪Verbeter de filmkwaliteit:Zorg voor een gelijkmatige filmafzetting en verbeter de filmkwaliteit.
▪Verleng de levensduur van uw apparatuur:Uitstekende corrosiebestendigheid verlengt de levensduur van PECVD-apparatuur.
▪Productiekosten verlagen:Hoogwaardige grafietbakken kunnen het afvalpercentage verlagen en de productiekosten drukken.
Grafietmateriaal van SGL:
| Typische parameter: R6510 | |||
| Index | Testnorm | Waarde | Eenheid |
| Gemiddelde korrelgrootte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Open porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrote poriën | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Doorlaatbaarheid | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardheid HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifieke elektrische weerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Buigsterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druksterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Thermische uitzetting (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Thermische geleidbaarheid (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Het is specifiek ontworpen voor de productie van hoogrenderende zonnecellen en ondersteunt de verwerking van G12-wafers van groot formaat. Het geoptimaliseerde ontwerp van de drager verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat resulteert in hogere opbrengsten en lagere productiekosten.
| Item | Type | Nummer waferdrager |
| PEVCD Grephite boot - De 156-serie | 156-13 grafieten boot | 144 |
| 156-19 grafieten boot | 216 | |
| 156-21 grafieten boot | 240 | |
| 156-23 grafietboot | 308 | |
| PEVCD Grephite boot - De 125-serie | 125-15 grafieten boot | 196 |
| 125-19 grafieten boot | 252 | |
| 125-21 grafietboot | 280 |
