PECVD-laadbak, afzettingsgrafietbak

Korte beschrijving:

De PECVD-laadtray van VET Energy is ontworpen om wafers veilig en gelijkmatig te ondersteunen tijdens de depositie, wat de consistentie en kwaliteit van het depositieproces verbetert. Dankzij de uitstekende hittebestendigheid helpt de grafiettray een gecontroleerde omgeving in PECVD-kamers te behouden, waardoor het risico op besmetting wordt verminderd en een hoge procesefficiëntie wordt gegarandeerd.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

De VET Energy PECVD-laadtray is een precisiedrager, ontworpen voor het PECVD-proces (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Deze hoogwaardige grafiettray voor depositie is gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal met een hoge dichtheid. Het heeft een uitstekende temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, maatvastheid en andere eigenschappen. Het biedt een stabiel dragerplatform voor het PECVD-proces en garandeert de uniformiteit en vlakheid van de filmdepositie.

VET Energy PECVD-laadbakken worden veel gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche, LED- en andere sectoren. Bijvoorbeeld:

▪ Halfgeleider: PECVD-proces voor halfgeleidermaterialen zoals siliciumwafers en epitaxiale wafers.

▪ Fotovoltaïsch: PECVD-proces voor dunne films van zonnecellen.

▪ LED: PECVD-proces voor LED-chips.

Productvoordelen

▪Verbeter de filmkwaliteit:Zorgt voor een gelijkmatige afzetting van de film en verbetert de filmkwaliteit.

▪Verleng de levensduur van apparatuur:Uitstekende corrosiebestendigheid, verlengt de levensduur van PECVD-apparatuur.

▪Productiekosten verlagen:Hoogwaardige grafietbakken kunnen de hoeveelheid afval verminderen en productiekosten verlagen.

Grafietmateriaal van SGL:

Typische parameter: R6510
Index	Testnorm	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Open porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrote poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifieke elektrische weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Thermische uitzetting (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Thermische geleidbaarheid (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Het is specifiek ontworpen voor de productie van zeer efficiënte zonnecellen en ondersteunt de verwerking van grote G12-wafers. Het geoptimaliseerde dragerontwerp verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat hogere opbrengsten en lagere productiekosten mogelijk maakt.

Item	Type	Aantal waferdragers
PEVCD Grephite boot - De 156 serie	156-13 grefietboot	144
	156-19 grefietboot	216
	156-21 grefietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite boot - De 125 serie	125-15 grefietboot	196
	125-19 grefietboot	252
	125-21 grafietboot	280