Tacka ładująca PECVD Tacka grafitowa do osadzania

Krótki opis:

Taca ładująca PECVD firmy VET Energy została zaprojektowana tak, aby zapewnić bezpieczne i równomierne podparcie dla płytek podczas osadzania, poprawiając spójność i jakość procesu osadzania. Dzięki doskonałej odporności na ciepło taca grafitowa pomaga utrzymać kontrolowane środowisko wewnątrz komór PECVD, zmniejszając ryzyko skażenia i zapewniając wysoką wydajność procesu.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Taca ładująca VET Energy PECVD to precyzyjny nośnik zaprojektowany do procesu PECVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą). Ta wysokiej jakości taca grafitowa do osadzania jest wykonana z materiału grafitowego o wysokiej czystości i gęstości. Ma doskonałą odporność na wysokie temperatury, odporność na korozję, stabilność wymiarową i inne cechy. Może zapewnić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD i zagwarantować jednorodność i płaskość osadzania filmu.

Tace ładujące VET Energy PECVD są szeroko stosowane w półprzewodnikach, fotowoltaice, LED i innych dziedzinach. Na przykład:

▪ Półprzewodniki: proces PECVD dla materiałów półprzewodnikowych, takich jak płytki krzemowe i płytki epitaksjalne.

▪ Fotowoltaika: proces PECVD dla cienkich warstw ogniw słonecznych.

▪ LED: proces PECVD dla układów scalonych LED.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie filmu i popraw jego jakość.

▪Przedłuż żywotność sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność urządzeń PECVD.

▪Zmniejsz koszty produkcji:Wysokiej jakości tacki grafitowe mogą zmniejszyć ilość odpadów i obniżyć koszty produkcji.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	Norma ISO 13320	10	mikrometr
Gęstość objętościowa	Norma DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porowatość otwarta	DIN66133	10	%
Średniej wielkości pory	DIN66133	1.8	mikrometr
Przepuszczalność	Norma DIN 51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Opór właściwy elektryczny	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN 51910	130	MPa
Moduł Younga	Norma DIN 51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200℃)	Norma DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20℃)	Norma DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Został zaprojektowany specjalnie do produkcji ogniw słonecznych o wysokiej wydajności, obsługując przetwarzanie dużych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższe wskaźniki wydajności i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numer nośnika wafli
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	156-13 łódź grefitowa	144
	156-19 łódź grefitowa	216
	156-21 łódź grefitowa	240
	156-23 łódź grafitowa	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280