Tacka ładująca PECVD Tacka grafitowa do osadzania

Krótki opis:

Taca załadowcza PECVD firmy VET Energy została zaprojektowana z myślą o zapewnieniu bezpiecznego i równomiernego podparcia płytek podczas osadzania, poprawiając spójność i jakość procesu. Dzięki doskonałej odporności na ciepło, taca grafitowa pomaga utrzymać kontrolowane środowisko wewnątrz komór PECVD, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia i zapewniając wysoką wydajność procesu.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Taca załadowcza PECVD firmy VET Energy to precyzyjny nośnik zaprojektowany do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Ta wysokiej jakości taca grafitowa do osadzania jest wykonana z wysokiej czystości i gęstości grafitu. Charakteryzuje się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję, stabilnością wymiarową i innymi cechami. Może stanowić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD oraz zagwarantować jednorodność i płaskość osadzania warstw.

Tace ładujące PECVD firmy VET Energy są szeroko stosowane w półprzewodnikach, fotowoltaice, diodach LED i innych dziedzinach. Na przykład:

▪ Półprzewodniki: proces PECVD dla materiałów półprzewodnikowych, takich jak płytki krzemowe i płytki epitaksjalne.

▪ Fotowoltaika: proces PECVD dla cienkich warstw ogniw słonecznych.

▪ LED: proces PECVD dla układów LED.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie filmu i popraw jego jakość.

▪Przedłużenie żywotności sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność urządzeń PECVD.

▪Obniż koszty produkcji:Wysokiej jakości tacki grafitowe mogą zmniejszyć ilość odpadów i obniżyć koszty produkcji.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO 13320	10	mikrometrów
Gęstość objętościowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	mikrometrów
Przepuszczalność	DIN 51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Opór właściwy elektryczny	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN 51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Został zaprojektowany specjalnie do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie dużych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacząco zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numer nośnika wafli
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	156-13 łódź grefitowa	144
	156-19 łódź grefitowa	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódź grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280