VET බලශක්ති PECVD පැටවීමේ තැටිය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති නිරවද්ය වාහකයකි. මෙම උසස් තත්ත්වයේ තැන්පත් කිරීමේ මිනිරන් තැටිය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්ව මිනිරන් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇත. එය විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායිතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ ඇත. එය PECVD ක්රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර වාහක වේදිකාවක් සැපයිය හැකි අතර පටල තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ පැතලි බව සහතික කළ හැකිය.
VET බලශක්ති PECVD පැටවුම් තැටි අර්ධ සන්නායක, ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, LED සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ. උදාහරණයක් ලෙස:
▪ අර්ධ සන්නායක: සිලිකන් වේෆර් සහ එපිටැක්සියල් වේෆර් වැනි අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය සඳහා PECVD ක්රියාවලිය.
▪ ප්රකාශ වෝල්ටීයතාව: සූර්ය කෝෂ තුනී පටල සඳහා PECVD ක්රියාවලිය.
▪ LED: LED චිප් සඳහා PECVD ක්රියාවලිය.
නිෂ්පාදන වාසි
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයචිත්රපට ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරන්න:ඒකාකාර පටල තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සහ පටලයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඋපකරණ ආයු කාලය දීර්ඝ කරන්න:විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය, PECVD උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයනිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කරන්න:උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් තැටි මඟින් සීරීම් අනුපාතය අඩු කර නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකිය.
SGL වෙතින් මිනිරන් ද්රව්ය:
| සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510 | |||
| දර්ශකය | පරීක්ෂණ ප්රමිතිය | වටිනාකම | ඒකකය |
| සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය | අයිඑස්ඕ 13320 | 10 යි | μm |
| තොග ඝනත්වය | ඩින් අයිඊසී 60413/204 | 1.83 යනු | ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| විවෘත සිදුරු | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 10 යි | % |
| මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 1.8 මාලා | μm |
| පාරගම්යතාව | ඩින් 51935 | 0.06 යනු | සෙ.මී.²/තත්පරය |
| රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100 | DIN IEC60413/303 හඳුන්වා දීම | 90 යි | HR |
| නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය | ඩින් අයිඊසී 60413/402 | 13 | μΩm |
| නම්යශීලී ශක්තිය | ඩින් අයිඊසී 60413/501 | 60 | එම්පීඒ |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | ඩින් 51910 | 130 යි | එම්පීඒ |
| යංගේ මාපාංකය | ඩින් 51915 | 11.5×10³ | එම්පීඒ |
| තාප ප්රසාරණය (20-200℃) | ඩින් 51909 | 4.2X10 (4.2X10) යනු කුමක්ද?-6 | K-1 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃) | ඩින් 51908 | 105 යි | Wm-1K-1 |
එය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා වන අතර, G12 විශාල ප්රමාණයේ වේෆර් සැකසීමට සහාය වේ. ප්රශස්ත වාහක සැලසුම සැලකිය යුතු ලෙස ප්රතිදානය වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්රීය කරයි.
| අයිතමය | වර්ගය | වේෆර් වාහක අංකය |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 156 ශ්රේණිය | 156-13 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 144 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 156-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 216 ශ්රේණිය | |
| 156-21 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 240 (240) | |
| 156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව | 308 - | |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 125 ශ්රේණිය | 125-15 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 196 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 125-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 252 (252) | |
| 125-21 ග්රිෆයිට් බෝට්ටුව | 280 (280) |
