PECVD nakladacia miska na nanášanie grafitu

Obrázok grafitovej misky na nanášanie PECVD

Stručný popis:

Vkladací zásobník PECVD od spoločnosti VET Energy je navrhnutý tak, aby poskytoval bezpečnú a rovnomernú oporu pre doštičky počas nanášania, čím sa zlepšuje konzistentnosť a kvalita procesu nanášania. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej odolnosti pomáha grafitový zásobník udržiavať kontrolované prostredie vo vnútri komôr PECVD, čím sa znižuje riziko kontaminácie a zabezpečuje sa vysoká účinnosť procesu.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Vet Energy PECVD nakladacia miska je presný nosič určený pre proces PECVD (plazmou vylepšené chemické nanášanie z plynnej fázy). Táto vysoko kvalitná grafitová miska na nanášanie je vyrobená z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou. Má vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám, odolnosť voči korózii, rozmerovú stabilitu a ďalšie vlastnosti. Môže poskytnúť stabilnú nosnú platformu pre proces PECVD a zabezpečiť rovnomernosť a rovinnosť nanášania filmu.

Nakladacie misky VET Energy PECVD sa široko používajú v polovodičovom, fotovoltaickom, LED a ďalších oblastiach. Napríklad:

▪ Polovodič: Proces PECVD pre polovodičové materiály, ako sú kremíkové doštičky a epitaxné doštičky.

▪ Fotovoltaika: PECVD proces pre tenké filmy solárnych článkov.

▪ LED: Proces PECVD pre LED čipy.

Výhody produktu

▪Zlepšenie kvality filmu:Zabezpečte rovnomerné nanášanie filmu a zlepšite jeho kvalitu.

▪Predĺžte životnosť zariadenia:Vynikajúca odolnosť proti korózii, predlžuje životnosť zariadení PECVD.

▪Znížte výrobné náklady:Vysokokvalitné grafitové misky môžu znížiť mieru odpadu a znížiť výrobné náklady.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hustota	Norma DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1,8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Merný elektrický odpor	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20 – 200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov a podporuje spracovanie veľkoformátových doštičiek G12. Optimalizovaný dizajn nosičov výrazne zvyšuje priepustnosť, čo umožňuje vyššiu výťažnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Nosič doštičiek s číslom
PEVCD Grephite boat - Séria 156	156-13 grefitová loď	144
	156-19 grefitová loď	216
	156-21 grefitová loď	240
	Grafitový čln 156-23	308
PEVCD Grephite boat - Séria 125	125-15 grefitová loď	196
	125-19 grefitová loď	252
	125-21 grafitový čln	280