Tabaka Grafiti për Depozitimin e Ngarkimit të Tabakasë PECVD

Tabaka e Ngarkimit PECVD Depozitimi i Tabakasë së Grafitit Imazh i Paraqitur

Përshkrim i shkurtër:

Tabaka e Ngarkimit PECVD e VET Energy është projektuar për të ofruar mbështetje të sigurt dhe të njëtrajtshme për pllakat gjatë depozitimit, duke përmirësuar konsistencën dhe cilësinë e procesit të depozitimit. Me rezistencën e saj të shkëlqyer ndaj nxehtësisë, Tabaka e Grafitit ndihmon në ruajtjen e një mjedisi të kontrolluar brenda dhomave PECVD, duke zvogëluar rrezikun e kontaminimit dhe duke siguruar efikasitet të lartë të procesit.

Na dërgoni email Shkarko si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produkteve

Tabaka e ngarkimit VET Energy PECVD është një bartës preciz i projektuar për procesin PECVD (depozitim kimik i avullit të përmirësuar me plazmë). Kjo tabaka grafiti për depozitim me cilësi të lartë është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë dhe dendësi të lartë. Ka rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturave të larta, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensional dhe karakteristika të tjera. Mund të ofrojë një platformë të qëndrueshme bartëse për procesin PECVD dhe të sigurojë uniformitetin dhe sheshtësinë e depozitimit të filmit.

Tabakat e ngarkimit VET Energy PECVD përdoren gjerësisht në fusha gjysmëpërçuese, fotovoltaike, LED dhe fusha të tjera. Për shembull:

▪ Gjysmëpërçues: Procesi PECVD për materiale gjysmëpërçuese siç janë pllakat e silikonit dhe pllakat epitaksiale.

▪ Fotovoltaik: Procesi PECVD për filma të hollë të qelizave diellore.

▪ LED: Procesi PECVD për çipat LED.

Avantazhet e Produktit

▪Përmirësoni cilësinë e filmit:Siguroni depozitim uniform të filmit dhe përmirësoni cilësinë e tij.

▪Zgjatni jetëgjatësinë e pajisjeve:Rezistencë e shkëlqyer ndaj korrozionit, zgjat jetëgjatësinë e pajisjeve PECVD.

▪Ulja e kostove të prodhimit:Tabaka grafiti me cilësi të lartë mund të zvogëlojnë shkallën e skrapit dhe të ulin kostot e prodhimit.

Material grafiti nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlerë	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrizave	ISO 13320	10	μm
Dendësia e vëllimit	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozitet i hapur	DIN66133	10	%
Madhësi mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia e Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca ndaj shtypjes	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Youngut	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëria termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e pllakave të mëdha G12. Dizajni i optimizuar i bartësit rrit ndjeshëm rendimentin, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikull	Lloji	Numri i bartësit të pllakës së pllakës
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	varkë grefiti 156-13	144
	varkë grefiti 156-19	216
	varkë grefiti 156-21	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	Varkë grefiti 125-15	196
	Varkë grefiti 125-19	252
	Varkë grafiti 125-21	280