Табақчаи боркунии VET Energy PECVD як интиқолдиҳандаи дақиқ аст, ки барои раванди PECVD (андозбандии буғи кимиёвии плазмавии такмилёфта) тарҳрезӣ шудааст. Ин табақчаи графитии андозбандии баландсифат аз маводи графитии тозагии баланд ва зичии баланд сохта шудааст. Он дорои муқовимати аъло ба ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо мебошад. Он метавонад платформаи интиқолдиҳандаи устуворро барои раванди PECVD фароҳам оварад ва якрангӣ ва ҳамвории андозбандии плёнкаро таъмин кунад.
Табақчаҳои боркунии VET Energy PECVD дар соҳаҳои нимноқилҳо, фотоэлектрикӣ, LED ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешаванд. Масалан:
▪ Нимноқил: Раванди PECVD барои маводҳои нимноқилӣ ба монанди пластинаҳои кремний ва пластинаҳои эпитаксиалӣ.
▪ Фотоэлектрикӣ: Раванди PECVD барои плёнкаҳои тунуки батареяҳои офтобӣ.
▪ LED: Раванди PECVD барои чипҳои LED.
Бартариятҳои маҳсулот
▪Беҳтар кардани сифати филм:Таъмини якхелаи ҷойгиркунии филм ва беҳтар кардани сифати он.
▪Мӯҳлати истифодаи таҷҳизотро дароз кунед:Муқовимати аъло ба зангзанӣ, мӯҳлати хидмати таҷҳизоти PECVD-ро дароз мекунад.
▪Хароҷоти истеҳсолотро кам кунед:Табақчаҳои графити баландсифат метавонанд сатҳи партовҳоро кам кунанд ва хароҷоти истеҳсолотро кам кунанд.
Маводи графитӣ аз SGL:
| Параметри маъмулӣ: R6510 | |||
| Индекс | Стандарти санҷиш | Арзиш | Воҳид |
| Андозаи миёнаи донаҳо | ISO 13320 | 10 | мкм |
| Зичии оммавӣ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | г/см3 |
| Сӯрохии кушода | DIN66133 | 10 | % |
| Андозаи сӯрохиҳои миёна | DIN66133 | 1.8 | мкм |
| Гузаришпазирӣ | DIN 51935 | 0.06 | см²/с |
| Сахтии Роквелл HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Муқовимати мушаххаси барқӣ | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкΩм |
| Қувваи хамшавӣ | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
| Қувваи фишурдашавӣ | DIN 51910 | 130 | МПа |
| Модули Янг | DIN 51915 | 11.5×10³ | МПа |
| Васеъшавии гармӣ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Гузаронидани гармӣ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Он махсусан барои истеҳсоли батареяҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли андозаи калони G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳи интиқолдиҳандаи оптимизатсияшуда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш медиҳад, ки имкон медиҳад ҳосилнокии баландтар ва хароҷоти истеҳсолӣ кам карда шавад.
| Ашё | Навъ | Рақами интиқолдиҳандаи вафли |
| Қаиқи Грефитӣ PEVCD - Силсилаи 156 | Қаиқи грифитӣ 156-13 | 144 |
| Қаиқи грифитӣ 156-19 | 216 | |
| Қаиқи грифитӣ 156-21 | 240 | |
| Қаиқи графитии 156-23 | 308 | |
| Қаиқи Грефитӣ PEVCD - Силсилаи 125 | Қаиқи грифитии 125-15 | 196 |
| Қаиқи грифитии 125-19 | 252 | |
| Қаиқи грфитӣ 125-21 | 280 |
