Atẹ gbigbe PECVD jẹ́ ohun èlò ìtọ́jú tí ó péye tí a ṣe fún ìlànà PECVD (ìtọ́jú ìgbóná èéfín tí a mú dara sí plasma). Atẹ graphite ìtọ́jú tí ó dára yìí ni a fi ohun èlò graphite tí ó ní ìwúwo gíga, tí ó ní ìwọ̀n gíga ṣe. Ó ní ìdènà ooru gíga tí ó dára, ìdènà ipata, ìdúróṣinṣin ìwọ̀n àti àwọn ànímọ́ mìíràn. Ó lè pèsè pẹpẹ ìtọ́jú tí ó dúró ṣinṣin fún ìlànà PECVD àti rírí i dájú pé ìtọ́jú fíìmù náà jẹ́ èyí tí ó dọ́gba àti títẹ́.
A lo àwọn àwo ìrùsókè PECVD ní ibi gíga nínú semiconductor, photovoltaic, LED àti àwọn pápá míràn. Fún àpẹẹrẹ:
▪ Semiconductor: Ìlànà PECVD fún àwọn ohun èlò semiconductor bíi silicon wafers àti epitaxial wafers.
▪ Fọ́tòvoltaic: Ìlànà PECVD fún àwọn fíìmù tín-ín-rín sẹ́ẹ̀lì oòrùn.
▪ LED: Ilana PECVD fun awọn eerun LED.
Àwọn Àǹfààní Ọjà
▪Mu didara fiimu dara si:Rí i dájú pé fíìmù náà wà ní ìpele kan náà kí ó sì mú kí fíìmù náà dára síi.
▪Mu igbesi aye ẹrọ pọ si:O tayọ resistance ipata, fa igbesi aye iṣẹ ti awọn ohun elo PECVD.
▪Din awọn idiyele iṣelọpọ:Àwọn àwo graphite tó ga jùlọ lè dín iye ìfọ́ kù kí ó sì dín iye owó ìṣẹ̀dá kù.
Ohun èlò graphite láti SGL:
| Àmì tí ó wọ́pọ̀: R6510 | |||
| Àtọ́ka | Iwọn idanwo | Iye | Ẹyọ kan |
| Iwọn ọkà apapọ | ISO 13320 | 10 | μm |
| Ìwọ̀n púpọ̀ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Àwọn ihò tí ó ṣí sílẹ̀ | DIN66133 | 10 | % |
| Ìwọ̀n ihò àárín | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Àìníláàyè | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Líle líle Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Idaabobo itanna pataki | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbára ìrọ̀rùn | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPA |
| Agbára ìfúnpọ̀ | DIN 51910 | 130 | MPA |
| Mọ́dúlùsì ọ̀dọ́ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPA |
| Ìfẹ̀sí gbígbóná (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Igbona elekitiriki (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
A ṣe apẹrẹ rẹ̀ ní pàtó fún ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oorun tó lágbára, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ṣíṣe iṣẹ́ wafer ńlá G12. Apẹẹrẹ ẹ̀rọ tí a ṣe àtúnṣe mú kí iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, èyí sì ń jẹ́ kí iye owó iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, ó sì ń dín iye owó iṣẹ́ náà kù.
| Ohun kan | Irú | Olùgbé nọ́mbà wafer |
| Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn ìpele 156 | Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-13 | 144 |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-19 | 216 | |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-21 | 240 | |
| Ọkọ̀ ojú omi graphite 156-23 | 308 | |
| Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn jara 125 | Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-15 | 196 |
| Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-19 | 252 | |
| Ọkọ̀ ojú omi 125-21 gífítì | 280 |
