PECVD-påfyldningsbakke aflejringsgrafitbakke

Kort beskrivelse:

VET Energys PECVD-indlæsningsbakke er designet til at give sikker og jævn støtte til wafere under aflejring, hvilket forbedrer konsistensen og kvaliteten af aflejringsprocessen. Med sin fremragende varmebestandighed hjælper grafitbakken med at opretholde et kontrolleret miljø i PECVD-kamrene, hvilket reducerer risikoen for kontaminering og sikrer høj proceseffektivitet.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produktmærker

VET Energy PECVD-påfyldningsbakken er en præcisionsbærer designet til PECVD-processen (plasmaforstærket kemisk dampaflejring). Denne højkvalitetsaflejringsgrafitbakke er lavet af grafitmateriale med høj renhed og høj densitet. Den har fremragende høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber. Den kan give en stabil bærerplatform til PECVD-processen og sikre ensartethed og fladhed af filmaflejringen.

VET Energy PECVD-læssebakker anvendes i vid udstrækning inden for halvleder-, solcelle-, LED- og andre områder. For eksempel:

▪ Halvleder: PECVD-proces til halvledermaterialer såsom siliciumwafere og epitaksiale wafere.

▪ Fotovoltaisk: PECVD-proces til tyndfilm af solceller.

▪ LED: PECVD-proces til LED-chips.

Produktfordele

▪Forbedre filmkvaliteten:Sørg for ensartet filmaflejring og forbedr filmkvaliteten.

▪Forlæng udstyrets levetid:Fremragende korrosionsbestandighed, forlænger levetiden for PECVD-udstyr.

▪Reducer produktionsomkostningerne:Grafitbakker af høj kvalitet kan reducere skrothastigheden og produktionsomkostningerne.

Grafitmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Teststandard	Værdi	Enhed
Gennemsnitlig kornstørrelse	ISO 13320	10	μm
Rumdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Åben porøsitet	DIN66133	10	%
Mellem porestørrelse	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hårdhed HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøjningsstyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykstyrke	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk ekspansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termisk ledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er specielt designet til højeffektiv solcelleproduktion og understøtter behandling af store G12-wafere. Optimeret carrier-design øger gennemløbshastigheden betydeligt, hvilket muliggør højere udbytterater og lavere produktionsomkostninger.

Punkt	Type	Nummerwaferbærer
PEVCD Grephite-båd - 156-serien	156-13 grephitbåd	144
	156-19 grefitbåd	216
	156-21 grefitbåd	240
	156-23 grafitbåd	308
PEVCD Grephite-båd - 125-serien	125-15 grephitbåd	196
	125-19 grephitbåd	252
	125-21 grafitbåd	280