Pieza semicircular de grafito recubierta de SiC para horno epitaxial de carburo de silicio

Breve descripción:

VET Energy es un fabricante y proveedor profesional de componentes clave para hornos epitaxiales de carburo de silicio. Nuestra pieza semicircular de grafito recubierta de SiC utiliza grafito de alta pureza combinado con tecnología avanzada de recubrimiento CVD. Está diseñada para entornos epitaxiales de alta temperatura y altamente corrosivos. El grafito de alta pureza proporciona al componente una excelente resistencia a altas temperaturas (>1600 ℃) y estabilidad térmica, lo que garantiza la uniformidad del campo térmico. El recubrimiento CVD forma una densa capa protectora en la superficie mediante tecnología CVD, mejorando significativamente las propiedades antioxidantes y anticorrosivas, y prolongando la vida útil en más del triple.

Material:Grafito de alta pureza

Purificación:<5 ppm

Revestimiento:CVD-SiC o CVD-TaC

Personalización:Horno de marca o OEM

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Pieza de grafito semicircular recubierta de SiCEs un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente en equipos epitaxiales de SiC. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la pieza semicircular con una pureza extremadamente alta, una excelente uniformidad de recubrimiento y una vida útil excepcional, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

Material base: grafito de alta pureza
Requisitos de pureza:Contenido de carbono ≥99,99%, contenido de cenizas ≤5 ppm, para garantizar que no se precipiten impurezas que contaminen la capa epitaxial a altas temperaturas.
Ventajas de rendimiento:
Alta conductividad térmica:La conductividad térmica a temperatura ambiente alcanza los 150 W/(m·K), un valor cercano al del cobre, lo que permite una rápida transferencia de calor.
Coeficiente de expansión bajo:5×10^-6/℃ (25-1000℃), que coincide con el sustrato de carburo de silicio (4,2×10^-6/℃), reduciendo el agrietamiento del recubrimiento causado por el estrés térmico.
Precisión del procesamiento:Mediante mecanizado CNC se consigue una tolerancia dimensional de ±0,05 mm para garantizar el sellado de la cámara.

Aplicaciones diferenciadas de SiC CVD y TaC CVD

Revestimiento	Proceso	Comparación	Aplicación típica
SiC CVD	Temperatura: 1000-1200℃Presión: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espesor 50-100 µm, excelente resistencia a la oxidación (estable por debajo de 1600 ℃).	Hornos epitaxiales universales, aptos para atmósferas convencionales como hidrógeno y silano.
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Presión: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espesor de 20-50 µm, extremadamente resistente a la corrosión (puede soportar gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.).	Entornos altamente corrosivos (como los equipos de epitaxia y grabado de GaN) o procesos especiales que requieren temperaturas ultra altas de 2600 °C.

Inspección de calidad

Espesor del recubrimiento: medidor de espesor láser (precisión ±1 µm) o análisis de sección transversal mediante SEM.
Resistencia de la unión: prueba de rayado (carga crítica > 50 N) o prueba ultrasónica (velocidad del sonido > 5000 m/s).
Resistencia a la corrosión: tasa de pérdida de masa (<0,1 mg/cm²·h) probada en atmósfera de HCl (5% en volumen, 1600℃).

VET Energy es un fabricante profesional especializado en I+D y producción de materiales avanzados de alta gama, como grafito, carburo de silicio y cuarzo, así como en el tratamiento de materiales mediante recubrimientos de SiC, TaC, carbono vítreo y carbono pirolítico, entre otros. Sus productos se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables, metalúrgico, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y plazo de entrega rápido;
• Múltiples alianzas con la industria a nivel mundial;

¡Le invitamos a visitar nuestra fábrica y laboratorio cuando lo desee!