Dio polumjeseca s grafitom obloženim SiC-omje ključna komponenta koja se koristi u procesima proizvodnje poluvodiča, posebno za SiC epitaksijalnu opremu. Koristimo našu patentiranu tehnologiju za izradu polumjesečastog dijela s izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i izvrsnim vijekom trajanja, kao i visokom kemijskom otpornošću i toplinskom stabilnošću.
Osnovni materijal: grafit visoke čistoće
Zahtjevi za čistoću:sadržaj ugljika ≥99,99%, sadržaj pepela ≤5 ppm, kako bi se osiguralo da se nečistoće ne talože i kontaminiraju epitaksijalni sloj na visokim temperaturama.
Prednosti performansi:
Visoka toplinska vodljivost:Toplinska vodljivost na sobnoj temperaturi doseže 150 W/(m·K), što je blizu razini bakra i može brzo prenositi toplinu.
Nizak koeficijent širenja:5×10-6/℃ (25-1000℃), što odgovara silicij-karbidnoj podlozi (4,2 × 10-6/℃), smanjujući pucanje premaza uzrokovano toplinskim naprezanjem.
Točnost obrade:CNC obradom postiže se dimenzijska tolerancija od ±0,05 mm kako bi se osiguralo brtvljenje komore.
Diferencirane primjene CVD SiC i CVD TaC
| Premazivanje | Proces | Usporedba | Tipična primjena |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200℃ Tlak: 10-100 Torr | Tvrdoća HV2500, debljina 50-100um, izvrsna otpornost na oksidaciju (stabilna ispod 1600℃) | Univerzalne epitaksijalne peći, prikladne za konvencionalne atmosfere poput vodika i silana |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800℃ Tlak: 1-10 Torr | Tvrdoća HV3000, debljina 20-50um, izuzetno otporno na koroziju (može izdržati korozivne plinove poput HCl, NH₃ itd.) | Visoko korozivna okruženja (kao što je oprema za epitaksiju i jetkanje GaN) ili posebni procesi koji zahtijevaju ultra visoke temperature od 2600 °C |
Inspekcija kvalitete
Debljina premaza: laserski mjerač debljine (točnost ±1 μm) ili SEM analiza presjeka.
Čvrstoća veze: ispitivanje grebanjem (kritično opterećenje > 50 N) ili ultrazvučno ispitivanje (brzina zvuka > 5000 m/s).
Otpornost na koroziju: brzina gubitka mase (<0,1 mg/cm²·h) testirana u atmosferi HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy je profesionalni proizvođač usmjeren na istraživanje i razvoj te proizvodnju vrhunskih naprednih materijala poput grafita, silicijevog karbida, kvarca, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza staklastim ugljikom, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sustavima, poluvodičima, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.
Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeće razine čistoće i kvalitete u industriji;
• Konkurentna cijena i brzo vrijeme isporuke;
• Višestruka industrijska partnerstva diljem svijeta;
Pozivamo vas da posjetite našu tvornicu i laboratorij u bilo koje vrijeme!
