PECVD բեռնման սկուտեղի նստեցման գրաֆիտային սկուտեղ

PECVD Բեռնման սկուտեղի նստեցման գրաֆիտի սկուտեղի առանձնացված պատկեր

Կարճ նկարագրություն՝

VET Energy-ի PECVD բեռնման սկուտեղը նախատեսված է վաֆլիների անվտանգ և հավասարաչափ հենարան ապահովելու համար նստեցման ընթացքում՝ բարելավելով նստեցման գործընթացի կայունությունն ու որակը: Իր գերազանց ջերմակայունության շնորհիվ գրաֆիտային սկուտեղը օգնում է պահպանել վերահսկվող միջավայր PECVD խցիկների ներսում՝ նվազեցնելով աղտոտման ռիսկը և ապահովելով բարձր գործընթացի արդյունավետություն:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ Ներբեռնել որպես PDF

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy PECVD բեռնման սկուտեղը PECVD (պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցում) գործընթացի համար նախատեսված ճշգրիտ կրող է: Այս բարձրորակ նստեցման գրաֆիտային սկուտեղը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտային նյութից: Այն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, կոռոզիայի դիմադրություն, չափային կայունություն և այլ բնութագրեր: Այն կարող է ապահովել կայուն կրող հարթակ PECVD գործընթացի համար և ապահովել թաղանթի նստեցման միատարրությունն ու հարթությունը:

VET Energy PECVD բեռնման սկուտեղները լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդչային, ֆոտովոլտային, լուսադիոդային և այլ ոլորտներում: Օրինակ՝

▪ Կիսահաղորդիչ. PECVD գործընթաց կիսահաղորդչային նյութերի համար, ինչպիսիք են սիլիցիումային թիթեղները և էպիտաքսիալ թիթեղները:

▪ Ֆոտովոլտային. PECVD գործընթաց արևային մարտկոցների բարակ թաղանթների համար։

▪ LED: PECVD գործընթաց LED չիպերի համար։

Արտադրանքի առավելությունները

▪Ֆիլմի որակի բարելավում.Ապահովել թաղանթի միատարր նստեցում և բարելավել թաղանթի որակը։

▪Երկարացնել սարքավորումների կյանքը.Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն, երկարացնում է PECVD սարքավորումների ծառայության ժամկետը։

▪Նվազեցնել արտադրական ծախսերը.Բարձրորակ գրաֆիտային սկուտեղները կարող են նվազեցնել ջարդոնի մակարդակը և նվազեցնել արտադրական ծախսերը:

SGL-ի գրաֆիտային նյութը՝

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ինդեքս	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Միջին հատիկի չափը	ԻՍՕ 13320	10	մկմ
Ծավալային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտիների չափ	DIN66133	1.8	մկմ
Թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վ
Ռոքվելի կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩմ
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժ	DIN 51910	130	ՄՊա
Յունգի մոդուլը	DIN 51915	11.5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմահաղորդականություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլիների մշակմանը: Օպտիմալացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է արտադրողականությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր արտադրողականության և ավելի ցածր արտադրական ծախսերի:

Ապրանք	Տեսակ	Թիվ վաֆլի կրիչ
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 156 շարք	156-13 գրեֆիտային նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտային նավակ	308
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 125 շարք	125-15 գրեֆիտային նավակ	196
	125-19 գրեֆիտային նավակ	252
	125-21 գրաֆիտային նավակ	280