ថាសផ្ទុក PECVD របស់ VET Energy គឺជាថាសផ្ទុកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា)។ ថាសក្រាហ្វីតដាក់ស្រទាប់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់នេះ ត្រូវបានផលិតឡើងពីវត្ថុធាតុក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ វាមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងៗទៀត។ វាអាចផ្តល់នូវវេទិកាផ្ទុកដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD និងធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងភាពរាបស្មើនៃការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
ថាសផ្ទុក VET Energy PECVD ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូនិក បន្ទះសូឡាទ័រ អំពូល LED និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។ ឧទាហរណ៍៖
▪ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ៖ ដំណើរការ PECVD សម្រាប់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដូចជាបន្ទះស៊ីលីកុន និងបន្ទះអេពីតាក់ស៊ីល។
▪ ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ៖ ដំណើរការ PECVD សម្រាប់ស្រទាប់ស្តើងនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
▪ LED៖ ដំណើរការ PECVD សម្រាប់បន្ទះឈីប LED។
គុណសម្បត្តិផលិតផល
▪បង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ធានាបាននូវការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងបង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។
▪ពង្រីកអាយុកាលឧបករណ៍៖ធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ PECVD។
▪កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម៖ថាសក្រាហ្វីតដែលមានគុណភាពខ្ពស់អាចកាត់បន្ថយអត្រាសំណល់អេតចាយ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។
សម្ភារៈក្រាហ្វីតពី SGL៖
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា៖ R6510 | |||
| លិបិក្រម | ស្តង់ដារសាកល្បង | តម្លៃ | ឯកតា |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម | អាយអេសអូ ១៣៣២០ | ១០ | μm |
| ដង់ស៊ីតេច្រើន | ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/204 | ១.៨៣ | ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រ3 |
| រន្ធញើសបើកចំហ | DIN66133 | ១០ | % |
| ទំហំរន្ធញើសមធ្យម | DIN66133 | ១.៨ | μm |
| ភាពជ្រាបចូល | ឌីន ៥១៩៣៥ | ០.០៦ | សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ/វិនាទី |
| ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100 | ឌីអិន IEC60413/303 | ៩០ | HR |
| ធន់ទ្រាំអគ្គិសនីជាក់លាក់ | ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/402 | ១៣ | μΩm |
| កម្លាំងបត់បែន | ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| កម្លាំងបង្ហាប់ | ឌីអិន ៥១៩១០ | ១៣០ | MPa |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | ឌីអិន ៥១៩១៥ | ១១.៥ × ១០³ | MPa |
| ការពង្រីកកម្ដៅ (20-200 ℃) | ឌីអិន ៥១៩០៩ | ៤.២X១០-6 | K-1 |
| ចរន្តកំដៅ (20℃) | ឌីអិន ៥១៩០៨ | ១០៥ | Wm-1K-1 |
វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដោយគាំទ្រដល់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីទំហំធំ G12។ ការរចនាឧបករណ៍ផ្ទុកដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងបានបង្កើនទិន្នផលយ៉ាងច្រើន ដែលអាចឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងថ្លៃដើមផលិតកម្មទាប។
| វត្ថុ | ប្រភេទ | លេខឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះស្តើង |
| ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156 | ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-១៣ | ១៤៤ |
| ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-១៩ | ២១៦ | |
| ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-២១ | ២៤០ | |
| ទូកក្រាហ្វីត ១៥៦-២៣ | ៣០៨ | |
| ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125 | ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១២៥-១៥ | ១៩៦ |
| ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១២៥-១៩ | ២៥២ | |
| ទូកក្រាហ្វីត ១២៥-២១ | ២៨០ |







