PECVD pakrovimo dėklo nusodinimo grafito dėklas

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ PECVD pakrovimo dėklas sukurtas taip, kad užtikrintų saugią ir tolygią plokštelių atramą nusodinimo metu, pagerindamas nusodinimo proceso nuoseklumą ir kokybę. Dėl puikaus atsparumo karščiui grafitinis dėklas padeda palaikyti kontroliuojamą aplinką PECVD kamerose, sumažindamas užteršimo riziką ir užtikrindamas aukštą proceso efektyvumą.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

„VET Energy“ PECVD pakrovimo padėklas yra tikslus nešiklis, skirtas PECVD (plazma sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis aukštos kokybės nusodinimo grafito padėklas pagamintas iš labai grynos, didelio tankio grafito medžiagos. Jis pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis. Jis gali suteikti stabilią nešiklio platformą PECVD procesui ir užtikrinti plėvelės nusodinimo vienodumą ir plokštumą.

„VET Energy“ PECVD pakrovimo padėklai plačiai naudojami puslaidininkių, fotovoltinių elementų, LED ir kitose srityse. Pavyzdžiui:

▪ Puslaidininkiai: PECVD procesas puslaidininkinėms medžiagoms, tokioms kaip silicio plokštelės ir epitaksinės plokštelės.

▪ Fotovoltinė: PECVD procesas saulės elementų plonoms plėvelėms.

▪ LED: PECVD procesas LED lustams.

Produkto privalumai

▪Pagerinti filmo kokybę:Užtikrinkite vienodą plėvelės nusodinimą ir pagerinkite plėvelės kokybę.

▪Prailginkite įrangos tarnavimo laiką:Puikus atsparumas korozijai, prailgina PECVD įrangos tarnavimo laiką.

▪Sumažinti gamybos sąnaudas:Aukštos kokybės grafito padėklai gali sumažinti atliekų kiekį ir gamybos sąnaudas.

Grafito medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Indeksas	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvelo kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stipris	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Gniuždymo stipris	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikant didelio dydžio G12 plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina našumą, todėl padidėja našumas ir sumažėja gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis - 156 serija	156-13 grefito valtis	144
	156-19 grefito valtis	216
	156-21 grefito valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis - 125 serija	125-15 grefito valtis	196
	125-19 grefito valtis	252
	125-21 grafito valtis	280