SiC dengta grafito pusmėnulio dalis silicio karbido epitaksinei krosniai

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ yra profesionalus silicio karbido epitaksinių krosnių pagrindinių komponentų gamintojas ir tiekėjas. Mūsų SiC dengtoje grafito pusmėnulio formos detalėje naudojamas labai grynas grafitas kartu su pažangia CVD dangos technologija. Ji sukurta naudoti aukštos temperatūros ir labai korozinėje epitaksinėje aplinkoje. Didelio grynumo grafitas suteikia komponentui puikų atsparumą aukštai temperatūrai (> 1600 ℃) ir terminį stabilumą, užtikrindamas terminio lauko vienodumą; CVD danga, naudodama CVD technologiją, suformuoja tankų apsauginį sluoksnį ant paviršiaus, žymiai pagerindama antioksidacines ir antikorozines savybes bei daugiau nei 3 kartus pailgindama tarnavimo laiką.

Medžiaga:Didelio grynumo grafitas

Valymas:<5 ppm

Danga:CVD-SiC arba CVD-TaC

Pritaikymas:Firminė krosnis arba OEM

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

SiC dengta grafito pusmėnulio dalisyra pagrindinis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač SiC epitaksinei įrangai. Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintume pusmėnulio formos detalę, pasižyminčią itin dideliu grynumu, geru dangos tolygumu ir puikiu tarnavimo laiku, taip pat dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiu stabilumu.

Pagrindinė medžiaga: didelio grynumo grafitas
Grynumo reikalavimai:anglies kiekis ≥99,99%, pelenų kiekis ≤5ppm, siekiant užtikrinti, kad aukštoje temperatūroje nesusidarytų priemaišų, kurios užterštų epitaksinį sluoksnį.
Našumo pranašumai:
Didelis šilumos laidumas:Šilumos laidumas kambario temperatūroje siekia 150 W/(m·K), tai yra artima vario lygiui ir gali greitai perduoti šilumą.
Mažas plėtimosi koeficientas:5×10^-6/℃ (25–1000 ℃), atitinkantis silicio karbido pagrindą (4,2 × 10^-6/℃), sumažinant dangos įtrūkimus, kuriuos sukelia terminis įtempis.
Apdorojimo tikslumas:CNC apdirbimo būdu pasiekiamas ±0,05 mm matmenų tolerancija, siekiant užtikrinti kameros sandarumą.

Diferencijuotas CVD SiC ir CVD TaC taikymas

Danga	Procesas	Palyginimas	Tipinis pritaikymas
CVD-SiC	Temperatūra: 1000–1200 ℃ Slėgis: 10–100 torų	Kietumas HV2500, storis 50–100 μm, puikus atsparumas oksidacijai (stabilus žemesnėje nei 1600 °C temperatūroje)	Universalios epitaksinės krosnys, tinkamos įprastinėms atmosferoms, tokioms kaip vandenilis ir silanas
CVD-TaC	Temperatūra: 1600–1800 ℃ Slėgis: 1–10 torų	Kietumas HV3000, storis 20–50 µm, itin atsparus korozijai (atlaiko korozines dujas, tokias kaip HCl, NH₃ ir kt.)	Labai korozinė aplinka (pvz., GaN epitaksijos ir ėsdinimo įranga) arba specialūs procesai, kuriems reikalinga itin aukšta 2600 °C temperatūra

Kokybės patikra

Dangos storis: lazerinis storio matuoklis (tikslumas ±1 µm) arba SEM skerspjūvio analizė.
Sukibimo stipris: įbrėžimo bandymas (kritinė apkrova > 50 N) arba ultragarsinis bandymas (garso greitis > 5000 m/s).
Atsparumas korozijai: masės netekimo greitis (<0,1 mg/cm²・h), išbandytas HCl atmosferoje (5 tūrio %, 1600 ℃).

„VET Energy“ yra profesionalus gamintojas, daugiausia dėmesio skiriantis aukštos klasės pažangių medžiagų, tokių kaip grafitas, silicio karbidas, kvarcas, tyrimams ir plėtrai bei gamybai, taip pat medžiagų apdorojimui, pavyzdžiui, SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt. Produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.

VET Energy privalumai:
• Nuosava gamykla ir profesionali laboratorija;
• Pramonėje pirmaujantys grynumo lygiai ir kokybė;
• Konkurencinga kaina ir greitas pristatymo laikas;
• Įvairūs pramonės partnerystės projektai visame pasaulyje;

Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir laboratorijoje bet kuriuo metu!