Wāhanga Halfmoon kua whakakikoruatia a SiChe waahanga matua e whakamahia ana i roto i nga mahi hangahanga semiconductor, ina koa mo nga taputapu epitaxial SiC. Ka whakamahia e matou o maatau hangarau arai ki te hanga i te waahanga hawhe marama me te tino ma, te pai o te whakakikoruatanga o te whakakikorua me te oranga pai rawa atu, tae atu ki te kaha o te aukati matū me nga waahi whakamarumaru wera.
Rauemi turanga: kauwhata parakore teitei
Nga whakaritenga parakore:te ihirangi waro ≥99.99%, te ihirangi pungarehu ≤5ppm, kia kore ai nga poke e paheke ki te whakapoke i te paparanga epitaxial i te wera nui.
Nga painga mahi:
Te kawe werawera teitei:Ko te kaha o te waiariki i te pāmahana rūma ka eke ki te 150W/(m・K), he tata ki te taumata parahi, ka tere te whakawhiti wera.
He iti whakarea roha:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), e taurite ana ki te taputapu carbide silicon (4.2×10-6/ ℃), ka whakaiti i te pakaru o te paninga na te ahotea waiariki.
Tukatuka tika:Ko te ahua o te ± 0.05mm ka tutuki ma te miihini CNC hei whakarite i te hiri o te ruma.
Nga tono rereke o CVD SiC me CVD TaC
| paninga | Tukanga | Whakatauritenga | Tono angamaheni |
| CVD-SiC | Temperaute: 1000-1200 ℃ Pēhanga: 10-100 Torr | Te pakeke HV2500, te matotoru 50-100um, te tino pai o te aukati i te waikura (i raro iho i te 1600 ℃) | Ko nga oumu epitaxial mo te ao, e tika ana mo nga hau rite te hauwai me te silane |
| CVD-TaC | Te Maamaa: 1600-1800 ℃ Te pehanga: 1-10 Torr | Te pakeke HV3000, te matotoru 20-50um, tino atete ki te waikura (ka taea te tu atu i nga hau pirau penei i te HCl, NH₃, etc.) | Ko nga taiao tino kino (pēnei i te GaN epitaxy me nga taputapu etching), he tukanga motuhake ranei e hiahia ana kia 2600°C te pāmahana tino teitei. |
Te tirotiro kounga
Te matotoru o te paninga: te ine matotoru taiaho (tika ± 1um) he tātari-waahanga SEM ranei.
Te kaha here: te whakamatautau rakuraku (te uta nui > 50N) te whakamatautau ultrasonic ranei (tere oro > 5000m/s).
Te parenga waikura: te tere mate papatipu (<0.1 mg/cm²・h) i whakamatauria i te hau HCl (5 vol%, 1600 ℃).
Ko te VET Energy he kaihanga ngaio e arotahi ana ki te R&D me te hanga o nga rauemi matatau teitei penei i te graphite, te carbide silicon, te quartz, me te maimoatanga rauemi penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaihe, te paninga waro pyrolytic, me era atu.
Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.
Ko nga painga o te VET Energy ko:
• He wheketere ake me te taiwhanga ngaio;
• Ahumahi-arahi taumata ma me te kounga;
• Te utu whakataetae & te wa tuku tere;
• Nga hononga ahumahi maha puta noa i te ao;
Ka mihi matou ki a koe ki te toro ki to maatau wheketere me te taiwhanga i nga wa katoa!
