VET Energy PECVD-lastebrett er en presisjonsbærer designet for PECVD-prosessen (plasmaforsterket kjemisk dampavsetning). Dette grafittbrettet av høy kvalitet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet. Det har utmerket høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper. Det kan gi en stabil bærerplattform for PECVD-prosessen og sikre ensartethet og flathet i filmavsetningen.
VET Energy PECVD lastebrett er mye brukt innen halvledere, solceller, LED og andre felt. For eksempel:
▪ Halvleder: PECVD-prosess for halvledermaterialer som silisiumskiver og epitaksiale skiver.
▪ Fotovoltaisk: PECVD-prosess for tynne filmer av solceller.
▪ LED: PECVD-prosess for LED-brikker.
Produktfordeler
▪Forbedre filmkvaliteten:Sørg for jevn filmavsetning og forbedrer filmkvaliteten.
▪Forleng utstyrets levetid:Utmerket korrosjonsbestandighet, forleng levetiden til PECVD-utstyr.
▪Reduser produksjonskostnadene:Grafittbrett av høy kvalitet kan redusere skrapmengden og produksjonskostnadene.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | mikrometer |
| Bulktetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | mikrometer |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Varmeledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferbærer |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefittbåt | 196 |
| 125-19 grefittbåt | 252 | |
| 125-21 grafittbåt | 280 |
