PECVD Kukweza Thireyi Yoyika Graphite Thireyi

PECVD Kutsegula Thireyi Kuyika Tireyi ya Graphite Chithunzi Chowonetsedwa

Kufotokozera Kwachidule:

Thireyi Yoyika Zinthu ya VET Energy ya PECVD yapangidwa kuti ipereke chithandizo chotetezeka komanso chofanana ndi cha ma wafers panthawi yoyika zinthu, ndikuwonjezera kusinthasintha ndi ubwino wa njira yoyika zinthu. Ndi kukana kutentha bwino, Thireyi ya Graphite imathandiza kusunga malo olamulidwa mkati mwa zipinda za PECVD, kuchepetsa chiopsezo cha kuipitsidwa ndikuwonetsetsa kuti njirayo ikugwira ntchito bwino.

Tumizani imelo kwa ife Tsitsani ngati PDF

Tsatanetsatane wa Zamalonda

Ma tag a Zamalonda

Thireyi yonyamulira ya VET Energy PECVD ndi chonyamulira cholondola chomwe chapangidwira njira ya PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Thireyi ya graphite yonyamulira yapamwamba kwambiri iyi imapangidwa ndi zinthu za graphite zoyera kwambiri komanso zokhuthala kwambiri. Ili ndi kukana kutentha kwambiri, kukana dzimbiri, kukhazikika kwa mawonekedwe ndi zina. Imatha kupereka nsanja yokhazikika yonyamulira ya njira ya PECVD ndikuwonetsetsa kuti filimuyo ikugwirizana komanso yosalala.

Ma tray olowetsa zinthu a VET Energy PECVD amagwiritsidwa ntchito kwambiri mu semiconductor, photovoltaic, LED ndi zina. Mwachitsanzo:

▪ Semiconductor: Njira ya PECVD yopangira zinthu za semiconductor monga ma silicon wafers ndi ma epitaxial wafers.

▪ Photovoltaic: Njira ya PECVD ya mafilimu opyapyala a maselo a dzuwa.

▪ LED: Njira ya PECVD ya ma chips a LED.

Ubwino wa Zamalonda

▪Sinthani khalidwe la filimu:Onetsetsani kuti filimu imayikidwa mofanana komanso kuti filimuyo ikhale yabwino.

▪Kukulitsa nthawi ya zida:Kukana dzimbiri bwino kwambiri, kumawonjezera nthawi yogwira ntchito ya zida za PECVD.

▪Chepetsani ndalama zopangira:Mathireyi a graphite abwino kwambiri amatha kuchepetsa kuchuluka kwa zinyalala ndikuchepetsa ndalama zopangira.

Zinthu za graphite kuchokera ku SGL:

Chizindikiro chachizolowezi: R6510
Mndandanda	Muyezo woyeserera	Mtengo	Chigawo
Kukula kwa tirigu wapakati	ISO 13320	10	μm
Kuchuluka kwa zinthu zambiri	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Ma porosity otseguka	DIN66133	10	%
Kukula kwa pore yapakati	DIN66133	1.8	μm
Kutha kupirira	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kulimba kwa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Kukana kwamagetsi kwapadera	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Mphamvu yopindika	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Mphamvu yokakamiza	DIN 51910	130	MPa
Modulus ya Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Kutentha kwa kutentha (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Kutentha kwa ma conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Yapangidwira makamaka kupanga maselo a dzuwa ogwira ntchito bwino kwambiri, kuthandizira kukonza ma wafer akuluakulu a G12. Kapangidwe kabwino ka chonyamulira chimawonjezera kwambiri kuchuluka kwa zokolola, zomwe zimapangitsa kuti pakhale zokolola zambiri komanso ndalama zochepa zopangira.

Chinthu	Mtundu	Nambala ya wophimba
Boti la PEVCD Grephite - Mndandanda wa 156	156-13 bwato la grephite	144
	Boti la grephite la 156-19	216
	Boti la grephite la 156-21	240
	Boti la graphite la 156-23	308
Boti la PEVCD Grephite - Mndandanda wa 125	Boti la grephite la 125-15	196
	Boti la grephite la 125-19	252
	Boti la 125-21 la grphite	280