O le VET Energy PECVD loading tray o se aveta'avale sa'o ua mamanuina mo le faiga o le PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). O lenei fata fa'aputuga graphite e maualuga lona tulaga lelei ua faia i mea graphite e maualuga le mama ma maualuga le mafiafia. E matua'i tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le 'ele, mautu le fua ma isi uiga. E mafai ona maua ai se tulaga mautu mo le faiga o le PECVD ma fa'amautinoa ai le tutusa ma le lamolemole o le fa'aputuga o le ata tifaga.
O fata uta VET Energy PECVD e faʻaaogaina lautele i semiconductor, photovoltaic, LED ma isi vaega. Mo se faʻataʻitaʻiga:
▪ Semiconductor: Faiga PECVD mo mea semiconductor e pei o silicon wafers ma epitaxial wafers.
▪ Photovoltaic: Faiga PECVD mo ata manifinifi o sela o le la.
▪ LED: Faiga PECVD mo sipa LED.
Fa'amanuiaga o le Oloa
▪Faaleleia le lelei o le ata tifaga:Ia mautinoa o le tutusa o le teuina o le ata tifaga ma fa'aleleia le lelei o le ata tifaga.
▪Fa'alauteleina le umi e ola ai le masini:E tete'e lelei i le 'ele, fa'alauteleina le umi e aoga ai meafaigaluega PECVD.
▪Fa'aitiitia tau o le gaosiga:E mafai e fata karapite e maualuga le lelei ona faʻaitiitia ai le fua o otaota ma faʻaitiitia ai tau o le gaosiga.
Mea fa'akalafi mai le SGL:
| Fa'ailoga masani: R6510 | |||
| Fa'asino Upu | Tulaga fa'ata'ita'i | Taua | Iunite |
| Tele masani o le saito | ISO 13320 | 10 | μm |
| Mafiafia tele | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | kalama/senitimi3 |
| Porosity tatala | DIN66133 | 10 | % |
| Tele o pu e feololo | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Fa'asusu | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Ma'a'a o Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Tete'e fa'apitoa o le eletise | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Malosiaga fa'apipi'i | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Malosi fa'apipi'i | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus a Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Fa'alauteleina o le vevela (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Fa'avevela (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ua mamanuina faapitoa mo le gaosiga o sela o le la e maualuga le lelei, e lagolagoina ai le faagasologa o le tele o le G12 wafer. O le mamanu sili ona lelei o le aveta'avale e fa'ateleina ai le gaosiga, ma mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le seleselega ma fa'aitiitia ai tau o le gaosiga.
| Mea | Ituaiga | Avetaavale numera |
| Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 156 | 156-13 va'a grephite | 144 |
| 156-19 va'a grephite | 216 | |
| 156-21 va'a grephite | 240 | |
| 156-23 va'a karapite | 308 | |
| Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 125 | Va'a grephite 125-15 | 196 |
| 125-19 va'a grephite | 252 | |
| Va'a 125-21 graphite | 280 |
