Графітавая паўмесяцовая дэталь з пакрыццём SiC для эпітаксіяльнай печы з карбіду крэмнію

Графітавая дэталь у форме паўмесяца з пакрыццём SiC для эпітаксіяльнай печы з карбіду крэмнію. Выява.

Кароткае апісанне:

VET Energy з'яўляецца прафесійным вытворцам і пастаўшчыком асноўных кампанентаў для эпітаксіяльных печаў з карбіду крэмнію. Нашы дэталі ў форме паўмесяца з графіту з пакрыццём SiC выраблены з высакаякаснага графіту ў спалучэнні з перадавой тэхналогіяй CVD-пакрыцця. Яны прызначаны для выкарыстання ў умовах высокіх тэмператур і высокай каразійнай актыўнасці эпітаксіяльнага пакрыцця. Высакаякасны графіт забяспечвае кампаненту выдатную высокатэмпературную ўстойлівасць (>1600℃) і тэрмічную стабільнасць, забяспечваючы аднастайнасць цеплавога поля; CVD-пакрыццё ўтварае шчыльны ахоўны пласт на паверхні дзякуючы тэхналогіі CVD, значна паляпшаючы антыакісляльныя і антытраўляльныя ўласцівасці і падаўжаючы тэрмін службы больш чым у 3 разы.

Матэрыял:Графіт высокай чысціні

Ачыстка:<5 праміле

Пакрыццё:CVD-SiC або CVD-TaC

Налада:Фірмовая печ або OEM

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Графітавая дэталь у форме паўмесяца з пакрыццём SiCз'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, асабліва для эпітаксіяльнага абсталявання з карбіду крэмнію. Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб вырабляць паўмесяц з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.

Асноўны матэрыял: графіт высокай чысціні
Патрабаванні да чысціні:утрыманне вугляроду ≥99,99%, утрыманне попелу ≤5 ppm, каб гарантаваць, што пры высокіх тэмпературах не будзе асадкавых прымешак, якія могуць забрудзіць эпітаксіяльны пласт.
Перавагі прадукцыйнасці:
Высокая цеплаправоднасць:Цеплаправоднасць пры пакаёвай тэмпературы дасягае 150 Вт/(м·К), што блізка да ўзроўню медзі, і дазваляе хутка перадаваць цяпло.
Нізкі каэфіцыент пашырэння:5×10^-6/℃ (25-1000℃), што адпавядае падкладцы з карбіду крэмнію (4,2×10^-6/℃), што памяншае расколіны ў пакрыцці, выкліканыя тэрмічным напружаннем.
Дакладнасць апрацоўкі:Дапушчальная адхіленне памераў ±0,05 мм дасягаецца з дапамогай апрацоўкі на станку з ЧПУ, што забяспечвае герметычнасць камеры.

Дыферэнцыяванае прымяненне CVD SiC і CVD TaC

Пакрыццё	Працэс	Параўнанне	Тыповае прымяненне
CVD-SiC	Тэмпература: 1000-1200℃ Ціск: 10-100 Тор	Цвёрдасць HV2500, таўшчыня 50-100 мкм, выдатная ўстойлівасць да акіслення (стабільная ніжэй за 1600 ℃)	Універсальныя эпітаксіяльныя печы, прыдатныя для звычайных атмасфер, такіх як вадарод і сілан
CVD-TaC	Тэмпература: 1600-1800℃ Ціск: 1-10 тор	Цвёрдасць HV3000, таўшчыня 20-50 мкм, надзвычай устойлівы да карозіі (вытрымлівае ўздзеянне агрэсіўных газаў, такіх як HCl, NH₃ і г.д.)	Высокаагрэсіўныя асяроддзі (напрыклад, абсталяванне для эпітаксіі і травлення GaN) або спецыяльныя працэсы, якія патрабуюць звышвысокіх тэмператур да 2600°C.

Кантроль якасці

Таўшчыня пакрыцця: лазерны таўшчынямер (дакладнасць ±1 мкм) або аналіз папярочнага сячэння з дапамогай SEM.
Трываласць счаплення: выпрабаванне на драпіны (крытычная нагрузка > 50 Н) або ультрагукавое выпрабаванне (хуткасць гуку > 5000 м/с).
Устойлівасць да карозіі: хуткасць страты масы (<0,1 мг/см²·г) пратэставана ў атмасферы HCl (5 аб'ёмных%, 1600℃).

VET Energy — прафесійны вытворца, які спецыялізуецца на даследаваннях, распрацоўках і вытворчасці высакаякасных перадавых матэрыялаў, такіх як графіт, карбід крэмнію, кварц, а таксама на апрацоўцы матэрыялаў, напрыклад, на пакрыцці SiC, пакрыцці TaC, пакрыцці са шкловугляроду, пакрыцці піролітычным вугляродам і г.д. Прадукцыя шырока выкарыстоўваецца ў фотаэлектрыцы, паўправадніках, новай энергетыцы, металургіі і г.д.

Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.

Перавагі VET Energy ўключаюць:
• Уласная фабрыка і прафесійная лабараторыя;
• Найлепшыя ў галіны ўзроўні чысціні і якасці;
• Канкурэнтаздольная цана і хуткі тэрмін дастаўкі;
• Шматлікія галіновыя партнёрствы па ўсім свеце;

Мы запрашаем вас наведаць нашу фабрыку і лабараторыю ў любы час!