Silisyum Karbür Epitaksiyel Fırın İçin SiC Kaplamalı Grafit Yarım Ay Parçası

Kısa Açıklama:

VET Energy, silisyum karbür epitaksiyel fırınların çekirdek bileşenlerinin profesyonel üreticisi ve tedarikçisidir. SiC kaplamalı grafit yarım ay parçamız, gelişmiş CVD kaplama teknolojisiyle birleştirilmiş yüksek saflıkta grafit kullanır. Yüksek sıcaklık ve yüksek aşındırıcı epitaksiyel ortamlar için tasarlanmıştır. Yüksek saflıktaki grafit, bileşene mükemmel yüksek sıcaklık direnci (>1600℃) ve termal kararlılık kazandırır, termal alan düzgünlüğünü garanti eder; CVD kaplama, CVD teknolojisi aracılığıyla yüzeyde yoğun bir koruyucu tabaka oluşturarak anti-oksidasyon ve anti-aşındırma özelliklerini önemli ölçüde iyileştirir ve hizmet ömrünü 3 kattan fazla uzatır.

Malzeme:Yüksek saflıkta grafit

Arınma:＜5ppm

Kaplama:CVD-SiC veya CVD-TaC

Özelleştirme:Marka fırın veya OEM

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

SiC Kaplamalı Grafit Yarım Ay Parçasıyarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle SiC epitaksiyel ekipmanlarda kullanılan önemli bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama düzgünlüğüne ve mükemmel bir hizmet ömrüne sahip yarım ay parçayı, ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerini üretiyoruz.

Taban malzemesi: yüksek saflıkta grafit
Saflık gereksinimleri:Yüksek sıcaklıklarda epitaksiyel tabakayı kirletecek hiçbir kirliliğin çökelmemesini sağlamak için karbon içeriği ≥%99,99, kül içeriği ≤5ppm olmalıdır.
Performans avantajları:
Yüksek ısı iletkenliği:Oda sıcaklığında ısı iletkenliği 150W/(m・K)'ye ulaşır, bu değer bakırınkine yakındır ve ısıyı hızlı bir şekilde transfer edebilir.
Düşük genleşme katsayısı:5×10^-6/℃ (25-1000℃), silisyum karbür alt tabakasına (4,2×10) uygundur^-6/℃), termal stres nedeniyle kaplamanın çatlamasını azaltır.
İşleme doğruluğu:Haznenin sızdırmazlığını sağlamak için CNC işleme ile ±0,05mm boyutsal tolerans elde edilmiştir.

CVD SiC ve CVD TaC'nin farklılaştırılmış uygulamaları

Kaplama	İşlem	Karşılaştırmak	Tipik uygulama
CVD-SiC	Sıcaklık: 1000-1200℃Basınç: 10-100 Torr	Sertlik HV2500, kalınlık 50-100um, mükemmel oksidasyon direnci (1600℃'nin altında stabil)	Hidrojen ve silan gibi geleneksel atmosferlere uygun, evrensel epitaksiyel fırınlar
CVD-TaC	Sıcaklık: 1600-1800℃Basınç: 1-10 Torr	Sertlik HV3000, kalınlık 20-50um, son derece korozyona dayanıklı (HCl, NH₃ vb. gibi aşındırıcı gazlara dayanabilir)	Son derece aşındırıcı ortamlar (GaN epitaksi ve aşındırma ekipmanı gibi) veya 2600°C'lik ultra yüksek sıcaklıklar gerektiren özel işlemler

Kalite denetimi

Kaplama kalınlığı: Lazer kalınlık ölçer (doğruluk ±1um) veya SEM kesit analizi.
Bağ mukavemeti: Çizik testi (kritik yük > 50N) veya ultrasonik test (ses hızı > 5000m/s).
Korozyon direnci: Kütle kaybı oranı (<0,1 mg/cm²・h) HCl atmosferinde (hacimce %5, 1600℃) test edilmiştir.

VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir ve ayrıca SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi malzeme işlemlerine sahiptir. Ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelen teknik ekibimiz, sizlere daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve Hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;

Fabrikamızı ve laboratuvarımızı her zaman ziyaret etmenizi bekliyoruz!