SiC Kaplı Grafit Yarım Ay ParçasıYarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle SiC epitaksiyel ekipmanlarında kullanılan önemli bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak, son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama homojenliğine ve mükemmel kullanım ömrüne sahip, ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahip yarım ay şeklindeki parçayı üretiyoruz.
Ana malzeme: yüksek saflıkta grafit
Saflık gereksinimleri:Yüksek sıcaklıklarda epitaksiyel tabakayı kirletecek safsızlıkların çökelmemesini sağlamak için karbon içeriği ≥%99,99, kül içeriği ≤5 ppm'dir.
Performans avantajları:
Yüksek ısı iletkenliği:Oda sıcaklığındaki ısı iletkenliği 150 W/(m・K) değerine ulaşır; bu değer bakırın seviyesine yakındır ve ısıyı hızlı bir şekilde iletebilir.
Düşük genleşme katsayısı:5×10-6/℃ (25-1000℃), silisyum karbür alt tabakaya (4,2×10) uygun-6/℃), termal gerilmeden kaynaklanan kaplama çatlamasını azaltır.
İşleme doğruluğu:Haznenin sızdırmazlığını sağlamak için CNC işleme yöntemiyle ±0,05 mm'lik boyutsal tolerans elde edilir.
CVD SiC ve CVD TaC'nin farklılaştırılmış uygulamaları
| Kaplama | İşlem | Karşılaştırmak | Tipik uygulama |
| CVD-SiC | Sıcaklık: 1000-1200℃ Basınç: 10-100 Torr | Sertlik HV2500, kalınlık 50-100 µm, mükemmel oksidasyon direnci (1600℃'nin altında stabil) | Hidrojen ve silan gibi geleneksel atmosferler için uygun evrensel epitaksiyel fırınlar. |
| CVD-TaC | Sıcaklık: 1600-1800℃ Basınç: 1-10 Torr | Sertlik HV3000, kalınlık 20-50 µm, son derece korozyona dayanıklı (HCl, NH₃ gibi aşındırıcı gazlara karşı dayanıklıdır). | Son derece aşındırıcı ortamlar (örneğin GaN epitaksi ve aşındırma ekipmanları) veya 2600°C gibi ultra yüksek sıcaklıklar gerektiren özel işlemler. |
Kalite kontrolü
Kaplama kalınlığı: lazer kalınlık ölçer (doğruluk ±1 µm) veya SEM kesit analizi.
Bağ dayanımı: Çizik testi (kritik yük > 50N) veya ultrasonik test (ses hızı > 5000m/s).
Korozyon direnci: HCl atmosferinde (hacimce %5, 1600℃) test edilen kütle kaybı oranı (<0,1 mg/cm²・h).
VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin yanı sıra SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. malzeme işleme yöntemlerinin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir. Ürünler, fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;
Fabrikamızı ve laboratuvarımızı dilediğiniz zaman ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz!
