SiC 코팅 흑연 반달형 부품반도체 제조 공정, 특히 SiC 에피택셜 장비에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 반달형 부품을 생산합니다.
기본 소재: 고순도 흑연
순도 요구 사항:고온에서 에피택셜 층을 오염시킬 불순물이 침전되지 않도록 탄소 함량 ≥99.99%, 회분 함량 ≤5ppm을 보장합니다.
성능상의 이점:
높은 열전도율:상온에서의 열전도율은 150W/(m・K)에 달하며, 이는 구리 수준에 근접하여 열을 빠르게 전달할 수 있습니다.
낮은 팽창 계수:5×10-6/℃ (25-1000℃), 탄화규소 기판(4.2×10)과 일치-6(섭씨/화씨 약 100도)로 인해 열응력으로 인한 코팅 균열이 줄어듭니다.
처리 정확도:CNC 가공을 통해 ±0.05mm의 치수 공차를 달성하여 챔버의 밀봉을 보장합니다.
CVD SiC와 CVD TaC의 차별화된 응용 분야
| 코팅 | 프로세스 | 비교 | 일반적인 적용 사례 |
| CVD-SiC | 온도: 1000-1200℃ 압력: 10-100 Torr | 경도 HV2500, 두께 50-100um, 우수한 산화 저항성(1600℃ 이하에서 안정) | 수소 및 실란과 같은 일반적인 분위기에 적합한 범용 에피택셜로 |
| CVD-TaC | 온도: 1600-1800℃ 압력: 1-10 Torr | 경도 HV3000, 두께 20-50μm, 뛰어난 내식성 (HCl, NH₃ 등의 부식성 가스에 견딜 수 있음) | 부식성이 매우 강한 환경(예: GaN 에피택시 및 에칭 장비) 또는 2600°C의 초고온이 필요한 특수 공정 |
품질 검사
코팅 두께: 레이저 두께 측정기(정밀도 ±1μm) 또는 SEM 단면 분석.
접착 강도: 긁힘 시험(임계 하중 > 50N) 또는 초음파 시험(음속 > 5000m/s).
내식성: 염산 분위기(5 vol%, 1600℃)에서 시험한 질량 손실률(<0.1 mg/cm²・h).
VET Energy는 흑연, 탄화규소, 석영과 같은 고급 첨단 소재의 연구 개발 및 생산과 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 소재 처리 기술에 주력하는 전문 제조업체입니다. 당사 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
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