SiC 코팅 흑연 반달 부품반도체 제조 공정, 특히 SiC 에피택셜 장비에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 탁월한 사용 수명, 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 하프문 부품을 제작합니다.
기본 소재 : 고순도 흑연
순도 요구 사항:탄소 함량 ≥99.99%, 회분 함량 ≤5ppm을 유지하여 고온에서 에피택셜 층을 오염시키는 불순물이 침전되지 않도록 보장합니다.
성능상의 이점:
높은 열전도도:실온에서 열전도도는 150W/(m・K)로 구리 수준에 가까워 열을 빠르게 전달할 수 있습니다.
낮은 팽창 계수:5×10-6/℃ (25-1000℃), 실리콘 카바이드 기판(4.2×10-6/℃), 열 응력으로 인한 코팅의 균열을 줄입니다.
처리 정확도:CNC 가공을 통해 ±0.05mm의 치수 허용 오차를 달성하여 챔버의 밀폐성을 보장합니다.
CVD SiC와 CVD TaC의 차별화된 응용 분야
| 코팅 | 프로세스 | 비교 | 일반적인 응용 프로그램 |
| CVD-SiC | 온도: 1000-1200℃ 압력: 10-100 Torr | 경도 HV2500, 두께 50-100um, 우수한 산화 저항성(1600℃ 이하에서 안정적) | 수소 및 실란과 같은 기존 분위기에 적합한 범용 에피택셜로 |
| CVD-TaC | 온도: 1600-1800℃ 압력: 1-10 Torr | 경도 HV3000, 두께 20-50um, 매우 내식성이 강함(HCl, NH₃ 등의 부식성 가스를 견딜 수 있음) | 고부식성 환경(GaN 에피택시 및 에칭 장비 등) 또는 2600°C의 초고온을 필요로 하는 특수 공정 |
품질 검사
코팅 두께: 레이저 두께 측정기(정확도 ±1um) 또는 SEM 단면 분석.
접합 강도: 스크래치 테스트(임계 하중 > 50N) 또는 초음파 테스트(음속 > 5000m/s).
부식 저항성: HCl 분위기(5 vol%, 1600℃)에서 질량 감소율(<0.1 mg/cm²・h)을 시험했습니다.
VET 에너지는 흑연, 탄화규소, 석영과 같은 첨단 소재의 연구 개발 및 생산과 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 소재 처리에 중점을 둔 전문 제조업체입니다. 해당 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로, 귀하에게 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
VET Energy의 장점은 다음과 같습니다.
• 자체 공장 및 전문 실험실 보유
• 업계 최고 수준의 순도와 품질
• 경쟁력 있는 가격 및 빠른 배송 시간
• 전 세계적으로 다양한 산업 파트너십
언제든지 우리 공장과 실험실을 방문해 보세요!
