Polmesečasti del iz grafita s prevleko SiC za epitaksialno peč iz silicijevega karbida

Izpostavljena slika grafitne polmesečaste plošče s prevleko SiC za epitaksialno peč iz silicijevega karbida

Kratek opis:

VET Energy je profesionalni proizvajalec in dobavitelj ključnih komponent epitaksialnih peči iz silicijevega karbida. Naš grafitni del v obliki polmeseca s prevleko SiC uporablja visoko čist grafit v kombinaciji z napredno tehnologijo CVD prevleke. Zasnovan je za visokotemperaturna in zelo korozivna epitaksialna okolja. Visoko čist grafit daje komponenti odlično odpornost na visoke temperature (> 1600 ℃) in toplotno stabilnost, kar zagotavlja enakomernost toplotnega polja; CVD prevleka s pomočjo CVD tehnologije tvori gosto zaščitno plast na površini, kar znatno izboljša antioksidacijske in protijedkalne lastnosti ter podaljša življenjsko dobo za več kot 3-krat.

Material:Grafit visoke čistosti

Čiščenje:<5 ppm

Premaz:CVD-SiC ali CVD-TaC

Prilagoditev:Peč znamke ali OEM

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Polmesečasti del iz grafita s prevleko SiCje ključna komponenta, ki se uporablja v procesih proizvodnje polprevodnikov, zlasti za epitaksialno opremo SiC. Z našo patentirano tehnologijo izdelujemo polmesečaste dele z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo, pa tudi z visoko kemično odpornostjo in toplotno stabilnostjo.

Osnovni material: grafit visoke čistosti
Zahteve glede čistosti:vsebnost ogljika ≥99,99 %, vsebnost pepela ≤5 ppm, da se zagotovi, da se pri visokih temperaturah ne izločajo nečistoče, ki bi lahko onesnažile epitaksialno plast.
Prednosti delovanja:
Visoka toplotna prevodnost:Toplotna prevodnost pri sobni temperaturi doseže 150 W/(m·K), kar je blizu ravni bakra in lahko hitro prenaša toploto.
Nizek koeficient raztezanja:5×10^-6/℃ (25–1000 ℃), kar ustreza substratu silicijevega karbida (4,2 × 10^-6/℃), kar zmanjšuje razpokanje premaza zaradi toplotnih obremenitev.
Natančnost obdelave:Z obdelavo s CNC-jem je dosežena dimenzijska toleranca ±0,05 mm, ki zagotavlja tesnjenje komore.

Različne uporabe CVD SiC in CVD TaC

Premaz	Postopek	Primerjava	Tipična uporaba
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200 ℃ Tlak: 10-100 Torr	Trdota HV2500, debelina 50-100um, odlična odpornost proti oksidaciji (stabilna pod 1600℃)	Univerzalne epitaksialne peči, primerne za običajne atmosfere, kot sta vodik in silan
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Tlak: 1-10 Torr	Trdota HV3000, debelina 20-50um, izjemno odporna proti koroziji (prenese korozivne pline, kot so HCl, NH₃ itd.)	Zelo korozivna okolja (kot je oprema za epitaksijo in jedkanje GaN) ali posebni postopki, ki zahtevajo ultra visoke temperature 2600 °C

Pregled kakovosti

Debelina prevleke: laserski merilnik debeline (natančnost ±1 μm) ali SEM analiza prečnega prereza.
Trdnost vezi: preizkus z praskanjem (kritična obremenitev > 50 N) ali ultrazvočni preizkus (hitrost zvoka > 5000 m/s).
Odpornost proti koroziji: stopnja izgube mase (<0,1 mg/cm²·h) preizkušena v atmosferi HCl (5 vol. %, 1600 ℃).

VET Energy je profesionalni proizvajalec, ki se osredotoča na raziskave in razvoj ter proizvodnjo vrhunskih naprednih materialov, kot so grafit, silicijev karbid, kremen, ter na obdelavo materialov, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, stekleni ogljikov premaz, pirolitični ogljikov premaz itd. Izdelki se pogosto uporabljajo v fotovoltaiki, polprevodnikih, novi energiji, metalurgiji itd.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Prednosti VET Energy vključujejo:
• Lastna tovarna in profesionalni laboratorij;
• Vodilne ravni čistosti in kakovosti v industriji;
• Konkurenčna cena in hiter dobavni rok;
• Več industrijskih partnerstev po vsem svetu;

Kadarkoli vas vabimo, da obiščete našo tovarno in laboratorij!