Pjesë gjysmëhënë grafiti e veshur me SiC për furrën epitaksiale të karabit të silikonit

Pjesë Gjysmëhënë e Grafitit të Veshur me SiC për Furrën Epitaksiale të Karbitit të Silicit, Imazh i Paraqitur

Përshkrim i shkurtër:

VET Energy është një prodhues dhe furnizues profesional i komponentëve kryesorë të furrave epitaksiale prej karabit të silikonit. Pjesa jonë gjysmëhënëshe prej grafiti e veshur me SiC përdor një grafit me pastërti të lartë të kombinuar me teknologji të përparuar të veshjes CVD. Është projektuar për mjedise epitaksiale në temperaturë të lartë dhe shumë korrozive. Grafiti me pastërti të lartë i jep komponentit rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë (>1600℃) dhe stabilitet termik, duke siguruar uniformitet të fushës termike; veshja CVD formon një shtresë të dendur mbrojtëse në sipërfaqe përmes teknologjisë CVD, duke përmirësuar ndjeshëm vetitë antioksiduese dhe anti-gdhendje, dhe duke zgjatur jetëgjatësinë e shërbimit me më shumë se 3 herë.

Materiali:Grafit me pastërti të lartë

Pastrimi:<5 ppm

Veshje:CVD-SiC ose CVD-TaC

Përshtatje:Furrë me markë ose OEM

Na dërgoni email Shkarko si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produkteve

Pjesë Gjysmëhënë e Grafitit të Veshur me SiCështë një komponent kyç i përdorur në proceset e prodhimit të gjysmëpërçuesve, veçanërisht për pajisjet epitaksiale SiC. Ne përdorim teknologjinë tonë të patentuar për të prodhuar pjesën gjysmëhënë me pastërti jashtëzakonisht të lartë, uniformitet të mirë të veshjes dhe një jetëgjatësi të shkëlqyer shërbimi, si dhe rezistencë të lartë kimike dhe veti të stabilitetit termik.

Materiali bazë: grafit me pastërti të lartë
Kërkesat e pastërtisë:përmbajtje karboni ≥99.99%, përmbajtje hiri ≤5 ppm, për të siguruar që të mos precipitojnë papastërti për të ndotur shtresën epitaksiale në temperatura të larta.
Përparësitë e performancës:
Përçueshmëri e lartë termike:Përçueshmëria termike në temperaturën e dhomës arrin 150W/(m・K), që është afër nivelit të bakrit dhe mund të transferojë shpejt nxehtësinë.
Koeficient i ulët i zgjerimit:5×10^-6/℃ (25-1000℃), që përputhet me substratin e karbidit të silikonit (4.2×10^-6/℃), duke zvogëluar çarjen e veshjes të shkaktuar nga stresi termik.
Saktësia e përpunimit:Një tolerancë dimensionale prej ±0.05 mm arrihet nëpërmjet përpunimit CNC për të siguruar vulosjen e dhomës.

Zbatime të diferencuara të CVD SiC dhe CVD TaC

Veshje	Procesi	Krahasim	Zbatim tipik
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃ Presioni: 10-100 Torr	Fortësia HV2500, trashësia 50-100um, rezistenca e shkëlqyer ndaj oksidimit (e qëndrueshme nën 1600℃)	Furrat universale epitaksiale, të përshtatshme për atmosfera konvencionale si hidrogjeni dhe silani
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃ Presioni: 1-10 Torr	Fortësia HV3000, trashësia 20-50um, jashtëzakonisht rezistente ndaj korrozionit (mund t'i rezistojë gazrave gërryes si HCl, NH₃, etj.)	Mjedise shumë korrozive (siç janë pajisjet e epitaksise dhe gdhendjes me GaN), ose procese të veçanta që kërkojnë temperatura ultra të larta prej 2600°C

Inspektimi i cilësisë

Trashësia e veshjes: matës trashësie me lazer (saktësia ±1um) ose analiza tërthore SEM.
Fortësia e lidhjes: testi i gërvishtjes (ngarkesë kritike > 50N) ose testimi me ultratinguj (shpejtësia e zërit > 5000m/s).
Rezistenca ndaj korrozionit: shkalla e humbjes së masës (<0.1 mg/cm²・h) e testuar në atmosferë HCl (5 vol%, 1600℃).

VET Energy është një prodhues profesional i fokusuar në Kërkim-Zhvillimin dhe prodhimin e materialeve të përparuara të nivelit të lartë si grafiti, karbidi i silikonit, kuarci, si dhe trajtimin e materialeve si veshja SiC, veshja TaC, veshja me karbon qelqor, veshja me karbon pirolitik, etj. Produktet përdoren gjerësisht në fotovoltaikë, gjysmëpërçues, energji të re, metalurgji, etj.

Ekipi ynë teknik vjen nga institucione kërkimore vendase më të mira, mund të ofrojë zgjidhje materiale më profesionale për ju.

Përparësitë e VET Energy përfshijnë:
• Fabrikë dhe laborator profesional të vetin;
• Nivele dhe cilësi pastërtie lider në industri;
• Çmim konkurrues dhe kohë e shpejtë e dorëzimit;
• Partneritete të shumëfishta industriale në të gjithë botën;

Ju mirëpresim të vizitoni fabrikën dhe laboratorin tonë në çdo kohë!