ชิ้นส่วนครึ่งวงเดือนกราไฟท์เคลือบ SiCเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์อิพิแทกเซียล SiC เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราในการผลิตชิ้นส่วนรูปพระจันทร์เสี้ยวที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดี และมีอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม รวมถึงมีคุณสมบัติทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง
วัสดุฐาน: กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ข้อกำหนดความบริสุทธิ์:ปริมาณคาร์บอน ≥99.99% ปริมาณเถ้า ≤5ppm เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสิ่งเจือปนตกตะกอนจนปนเปื้อนชั้นเอพิแทกเซียลที่อุณหภูมิสูง
ข้อดีด้านประสิทธิภาพ:
การนำความร้อนสูง:ค่าการนำความร้อนที่อุณหภูมิห้องจะอยู่ที่ 150W/(m・K) ซึ่งใกล้เคียงกับระดับของทองแดงและสามารถถ่ายเทความร้อนได้อย่างรวดเร็ว
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ:5×10-6/℃ (25-1000℃) ตรงกับพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์ (4.2×10-6/℃) ช่วยลดการแตกร้าวของสารเคลือบที่เกิดจากความเครียดจากความร้อน
ความแม่นยำในการประมวลผล:ความคลาดเคลื่อนของมิติ ±0.05 มม. ทำได้โดยใช้เครื่องจักร CNC เพื่อให้แน่ใจถึงการปิดผนึกห้อง
การประยุกต์ใช้งานที่แตกต่างกันของ CVD SiC และ CVD TaC
| การเคลือบ | กระบวนการ | การเปรียบเทียบ | การใช้งานทั่วไป |
| ซีวีดี-ซิลิกอน | อุณหภูมิ: 1000-1200℃ ความดัน: 10-100 Torr | ความแข็ง HV2500 ความหนา 50-100um ทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันได้ดีเยี่ยม (คงที่ที่อุณหภูมิต่ำกว่า 1600℃) | เตาเผาเอพิแทกเซียลแบบสากล เหมาะกับบรรยากาศทั่วไป เช่น ไฮโดรเจนและไซเลน |
| ซีวีดี-ทาซี | อุณหภูมิ: 1600-1800℃ แรงดัน: 1-10 Torr | ความแข็ง HV3000 ความหนา 20-50um ทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นอย่างมาก (สามารถทนต่อก๊าซกัดกร่อน เช่น HCl, NH₃ เป็นต้น) | สภาพแวดล้อมที่กัดกร่อนสูง (เช่น อุปกรณ์อิพิแทกซี GaN และอุปกรณ์กัดกร่อน) หรือกระบวนการพิเศษที่ต้องใช้ความร้อนสูงถึง 2,600°C |
การตรวจสอบคุณภาพ
ความหนาของการเคลือบ: เครื่องวัดความหนาด้วยเลเซอร์ (ความแม่นยำ ±1um) หรือการวิเคราะห์ภาคตัดขวาง SEM
ความแข็งแรงของพันธะ: การทดสอบรอยขีดข่วน (โหลดวิกฤต > 50N) หรือการทดสอบอัลตราโซนิก (ความเร็วเสียง > 5000m/s)
ความต้านทานการกัดกร่อน: อัตราการสูญเสียมวล (<0.1 mg/cm²・h) ทดสอบในบรรยากาศ HCl (5 vol%, 1600℃)
VET Energy เป็นผู้ผลิตระดับมืออาชีพที่เน้นด้านการวิจัยและพัฒนา (R&D) และการผลิตวัสดุขั้นสูง เช่น กราไฟท์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา เป็นต้น
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้
ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
• โรงงานของตนเองและห้องปฏิบัติการมืออาชีพ
• ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ราคาที่แข่งขันได้ & เวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
• ความร่วมมือระหว่างอุตสาหกรรมต่างๆ ทั่วโลก
เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ตลอดเวลา!
