Bagian Halfmoon Grafit Dilapisi SiCminangka komponen kunci sing digunakake ing proses manufaktur semikonduktor, utamane kanggo peralatan epitaksial SiC. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe bagean halfmoon kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik banget, uga tahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.
Bahan dasar: grafit kemurnian tinggi
Syarat kemurnian:kandungan karbon ≥99,99%, kandungan awu ≤5ppm, kanggo mesthekake yen ora ana rereged sing diendapke kanggo ngontaminasi lapisan epitaksial ing suhu dhuwur.
Kauntungan kinerja:
Konduktivitas termal sing dhuwur:Konduktivitas termal ing suhu ruangan tekan 150W/(m・K), sing cedhak karo tingkat tembaga lan bisa kanthi cepet nransfer panas.
Koefisien ekspansi sing endhek:5×10-6/℃ (25-1000℃), cocog karo substrat silikon karbida (4.2×10-6/℃), ngurangi retake lapisan sing disebabake dening tekanan termal.
Akurasi pangolahan:Toleransi dimensi ±0,05mm digayuh liwat mesin CNC kanggo njamin panyegelan ruang kasebut.
Aplikasi sing beda saka CVD SiC lan CVD TaC
| Lapisan | Proses | Perbandingan | Aplikasi khas |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr | Kekerasan HV2500, kekandelan 50-100um, tahan oksidasi sing apik banget (stabil ing ngisor 1600 ℃) | Tungku epitaksial universal, cocok kanggo atmosfer konvensional kayata hidrogen lan silana |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr | Kekerasan HV3000, kekandelan 20-50um, tahan banget korosi (bisa tahan gas korosif kayata HCl, NH₃, lan liya-liyane) | Lingkungan korosif banget (kayata epitaksi lan peralatan etsa GaN), utawa proses khusus sing mbutuhake suhu ultra-dhuwur 2600°C |
Inspeksi kualitas
Kekandelan lapisan: alat ukur kekandelan laser (akurasi ±1um) utawa analisis penampang SEM.
Kekuwatan ikatan: uji goresan (beban kritis > 50N) utawa uji ultrasonik (kecepatan swara > 5000m/s).
Ketahanan korosi: tingkat mundhut massa (<0,1 mg/cm²・h) diuji ing atmosfer HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;
Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!
