Dio polumjeseca obložen grafitom SiCje ključna komponenta koja se koristi u procesima proizvodnje poluprovodnika, posebno za SiC epitaksijalnu opremu. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili polumjesečaste dijelove izuzetno visoke čistoće, dobre ujednačenosti premaza i odličnog vijeka trajanja, kao i visoke hemijske otpornosti i termičke stabilnosti.
Osnovni materijal: grafit visoke čistoće
Zahtjevi za čistoću:sadržaj ugljika ≥99,99%, sadržaj pepela ≤5 ppm, kako bi se osiguralo da se nečistoće ne talože i kontaminiraju epitaksijalni sloj na visokim temperaturama.
Prednosti performansi:
Visoka toplotna provodljivost:Toplotna provodljivost na sobnoj temperaturi dostiže 150 W/(m·K), što je blizu nivoa bakra i omogućava brz prenos toplote.
Nizak koeficijent širenja:5×10-6/℃ (25-1000℃), što odgovara silicijum-karbidnoj podlozi (4,2×10-6/℃), smanjujući pucanje premaza uzrokovano termičkim naprezanjem.
Tačnost obrade:Dimenzionalna tolerancija od ±0,05 mm postiže se CNC obradom kako bi se osiguralo zaptivanje komore.
Diferencirane primjene CVD SiC i CVD TaC
| Premaz | Proces | Poređenje | Tipična primjena |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200℃ Pritisak: 10-100 Torr | Tvrdoća HV2500, debljina 50-100um, odlična otpornost na oksidaciju (stabilna ispod 1600℃) | Univerzalne epitaksijalne peći, pogodne za konvencionalne atmosfere poput vodika i silana |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800℃ Pritisak: 1-10 Torr | Tvrdoća HV3000, debljina 20-50um, izuzetno otporno na koroziju (može izdržati korozivne gasove kao što su HCl, NH₃, itd.) | Visoko korozivna okruženja (kao što je oprema za epitaksiju i nagrizanje GaN-a) ili posebni procesi koji zahtijevaju ultra visoke temperature od 2600°C |
Inspekcija kvalitete
Debljina premaza: laserski mjerač debljine (tačnost ±1 μm) ili SEM analiza poprečnog presjeka.
Čvrstoća veze: ispitivanje grebanjem (kritično opterećenje > 50N) ili ultrazvučno ispitivanje (brzina zvuka > 5000m/s).
Otpornost na koroziju: brzina gubitka mase (<0,1 mg/cm²·h) testirana u HCl atmosferi (5 vol%, 1600℃).
VET Energy je profesionalni proizvođač fokusiran na istraživanje i razvoj i proizvodnju vrhunskih naprednih materijala kao što su grafit, silicijum karbid, kvarc, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sistemima, poluprovodnicima, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.
Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeći nivoi čistoće i kvaliteta u industriji;
• Konkurentna cijena i brza isporuka;
• Višestruka industrijska partnerstva širom svijeta;
Pozivamo vas da posjetite našu fabriku i laboratoriju u bilo koje vrijeme!
