SiC लेपित ग्रेफाइट हाफमून भागसेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में इस्तेमाल होने वाला एक प्रमुख घटक है, खास तौर पर SiC एपिटैक्सियल उपकरणों के लिए। हम अपनी पेटेंट तकनीक का उपयोग करके अत्यंत उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और बेहतरीन सेवा जीवन के साथ-साथ उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों के साथ हाफमून भाग बनाते हैं।
आधार सामग्री: उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट
शुद्धता आवश्यकताएँ:कार्बन सामग्री ≥99.99%, राख सामग्री ≤5ppm, यह सुनिश्चित करने के लिए कि उच्च तापमान पर एपिटैक्सियल परत को दूषित करने के लिए कोई अशुद्धियाँ अवक्षेपित न हों।
प्रदर्शन लाभ:
उच्च तापीय चालकता:कमरे के तापमान पर तापीय चालकता 150W/(m・K) तक पहुँच जाती है, जो तांबे के स्तर के करीब है और तेजी से गर्मी स्थानांतरित कर सकती है।
कम विस्तार गुणांक:5×10-6/℃ (25-1000℃), सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट (4.2×10 .) से मेल खाता है-6/℃), तापीय तनाव के कारण कोटिंग की दरार को कम करता है।
प्रसंस्करण सटीकता:कक्ष की सीलिंग सुनिश्चित करने के लिए सीएनसी मशीनिंग के माध्यम से ± 0.05 मिमी की आयामी सहनशीलता प्राप्त की जाती है।
CVD SiC और CVD TaC के विभेदित अनुप्रयोग
| कलई करना | प्रक्रिया | तुलना | विशिष्ट अनुप्रयोग |
| सीवीडी-SiC | तापमान: 1000-1200℃दबाव: 10-100 टॉर | कठोरता HV2500, मोटाई 50-100um, उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध (1600℃ से नीचे स्थिर) | सार्वभौमिक एपीटैक्सियल भट्टियां, हाइड्रोजन और सिलेन जैसे पारंपरिक वातावरण के लिए उपयुक्त |
| सीवीडी-टीएसी | तापमान: 1600-1800℃दबाव: 1-10 टॉर | कठोरता HV3000, मोटाई 20-50um, अत्यंत संक्षारण प्रतिरोधी (HCl, NH₃ आदि संक्षारक गैसों का सामना कर सकता है) | अत्यधिक संक्षारक वातावरण (जैसे GaN एपिटैक्सी और नक्काशी उपकरण), या विशेष प्रक्रियाएं जिनके लिए 2600°C के अति-उच्च तापमान की आवश्यकता होती है |
गुणवत्ता निरीक्षण
कोटिंग मोटाई: लेजर मोटाई गेज (सटीकता ±1um) या SEM क्रॉस-अनुभागीय विश्लेषण।
बंधन शक्ति: स्क्रैच परीक्षण (महत्वपूर्ण भार > 50N) या अल्ट्रासोनिक परीक्षण (ध्वनि वेग > 5000m/s)।
संक्षारण प्रतिरोध: द्रव्यमान हानि दर (<0.1 mg/cm²・h) का परीक्षण HCl वातावरण (5 vol%, 1600℃) में किया गया।
वीईटी एनर्जी एक पेशेवर निर्माता है जो ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, क्वार्ट्ज जैसे उच्च-स्तरीय उन्नत सामग्रियों के अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन पर ध्यान केंद्रित करता है, साथ ही सामग्री उपचार जैसे कि SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग, आदि। उत्पादों का व्यापक रूप से फोटोवोल्टिक, अर्धचालक, नई ऊर्जा, धातु विज्ञान, आदि में उपयोग किया जाता है।
हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।
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