قطعه نیمه ماه گرافیتی روکش شده با SiCیک جزء کلیدی مورد استفاده در فرآیندهای تولید نیمههادی، به ویژه برای تجهیزات اپیتاکسیال SiC است. ما از فناوری ثبت اختراع شده خود برای ساخت قطعه نیمدایره با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده میکنیم.
جنس پایه: گرافیت با خلوص بالا
الزامات خلوص:میزان کربن ≥۹۹.۹۹٪، و میزان خاکستر ≤۵ppm، برای اطمینان از اینکه هیچ ناخالصی رسوب نمیکند تا لایه اپیتاکسیال را در دماهای بالا آلوده کند.
مزایای عملکرد:
رسانایی حرارتی بالا:رسانایی حرارتی در دمای اتاق به 150 وات بر (متر بر کلوین) میرسد که نزدیک به سطح مس است و میتواند به سرعت گرما را منتقل کند.
ضریب انبساط کم:۵×۱۰-6/℃ (25-1000℃)، مطابق با زیرلایه کاربید سیلیکون (4.2×10-3)-6/℃)، کاهش ترک خوردگی پوشش ناشی از تنش حرارتی.
دقت پردازش:برای اطمینان از آببندی محفظه، تلورانس ابعادی ±0.05 میلیمتر از طریق ماشینکاری CNC حاصل میشود.
کاربردهای متمایز SiC حاصل از CVD و TaC حاصل از CVD
| پوشش | فرآیند | مقایسه | کاربرد معمول |
| سیاسآیسیسی (SiC) با روش رسوبگذاری بخار شیمیایی (CVD) | دما: ۱۰۰۰-۱۲۰۰ درجه سانتیگراد فشار: ۱۰-۱۰۰ تور | سختی HV2500، ضخامت 50-100 میکرومتر، مقاومت در برابر اکسیداسیون عالی (پایدار در دمای زیر 1600 درجه سانتیگراد) | کورههای اپیتاکسیال یونیورسال، مناسب برای اتمسفرهای مرسوم مانند هیدروژن و سیلان |
| CVD-TaC | دما: ۱۶۰۰-۱۸۰۰℃ فشار: ۱-۱۰ تور | سختی HV3000، ضخامت 20-50um، بسیار مقاوم در برابر خوردگی (میتواند در برابر گازهای خورنده مانند HCl، NH₃ و غیره مقاومت کند.) | محیطهای بسیار خورنده (مانند تجهیزات اپیتاکسی و اچینگ GaN) یا فرآیندهای ویژهای که نیاز به دمای بسیار بالای ۲۶۰۰ درجه سانتیگراد دارند |
بازرسی کیفیت
ضخامت پوشش: ضخامت سنج لیزری (دقت ±1 میکرومتر) یا آنالیز مقطعی SEM.
استحکام اتصال: آزمایش خراش (بار بحرانی > 50 نیوتن) یا آزمایش اولتراسونیک (سرعت صوت > 5000 متر بر ثانیه).
مقاومت در برابر خوردگی: نرخ کاهش جرم (<0.1 mg/cm²·h) آزمایش شده در اتمسفر HCl (5 vol%، 1600℃).
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
• کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
• سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
• قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
• مشارکتهای صنعتی متعدد در سراسر جهان؛
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
