SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಾಫ್ಮೂನ್ ಭಾಗಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುವ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.ಅರ್ಧಚಂದ್ರನ ಭಾಗವನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಉತ್ತಮ ಲೇಪನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೇವಾ ಜೀವನ, ಜೊತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಮಾಡಲು ನಾವು ನಮ್ಮ ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತೇವೆ.
ಮೂಲ ವಸ್ತು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್
ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು:ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರವನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸಲು ಯಾವುದೇ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅವಕ್ಷೇಪಿಸಲ್ಪಡುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಇಂಗಾಲದ ಅಂಶ ≥99.99%, ಬೂದಿ ಅಂಶ ≤5ppm.
ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳು:
ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ 150W/(m・K) ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಇದು ತಾಮ್ರದ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ ಮತ್ತು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತದೆ.
ಕಡಿಮೆ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ:5 × 10-6/℃ (25-1000℃), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ (4.2×10-6/℃), ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಲೇಪನದ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಸಂಸ್ಕರಣಾ ನಿಖರತೆ:ಚೇಂಬರ್ನ ಸೀಲಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು CNC ಯಂತ್ರದ ಮೂಲಕ ± 0.05mm ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
CVD SiC ಮತ್ತು CVD TaC ಗಳ ವಿಭಿನ್ನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
| ಲೇಪನ | ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ | ಹೋಲಿಕೆ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ |
| ಸಿವಿಡಿ-ಎಸ್ಐಸಿ | ತಾಪಮಾನ: 1000-1200℃ಒತ್ತಡ: 10-100 ಟಾರ್ | ಗಡಸುತನ HV2500, ದಪ್ಪ 50-100um, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ (1600℃ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸ್ಥಿರ) | ಸಾರ್ವತ್ರಿಕ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಕುಲುಮೆಗಳು, ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲೇನ್ನಂತಹ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿವೆ. |
| ಸಿವಿಡಿ-ಟಾಕ್ | ತಾಪಮಾನ: 1600-1800℃ಒತ್ತಡ: 1-10 ಟಾರ್ | ಗಡಸುತನ HV3000, ದಪ್ಪ 20-50um, ಅತ್ಯಂತ ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ (HCl, NH₃, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು) | ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರಗಳು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು), ಅಥವಾ 2600°C ನ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವಿಶೇಷ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು. |
ಗುಣಮಟ್ಟ ಪರಿಶೀಲನೆ
ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ: ಲೇಸರ್ ದಪ್ಪ ಮಾಪಕ (ನಿಖರತೆ ± 1um) ಅಥವಾ SEM ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ.
ಬಂಧದ ಬಲ: ಸ್ಕ್ರಾಚ್ ಪರೀಕ್ಷೆ (ನಿರ್ಣಾಯಕ ಲೋಡ್ > 50N) ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪರೀಕ್ಷೆ (ಧ್ವನಿ ವೇಗ > 5000ಮೀ/ಸೆ).
ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: HCl ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ನಷ್ಟ ದರ (<0.1 mg/cm²・h) (5 vol%, 1600℃).
VET ಎನರ್ಜಿ ಒಂದು ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ SiC ಲೇಪನ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ ಮುಂತಾದ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
VET ಶಕ್ತಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು ಸೇರಿವೆ:
• ಸ್ವಂತ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಿಪರ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ;
• ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ;
• ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಬೆಲೆ & ವೇಗದ ವಿತರಣಾ ಸಮಯ;
• ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಬಹು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳು;
ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯವನ್ನು ಯಾವುದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೇಟಿ ನೀಡಲು ನಾವು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸುತ್ತೇವೆ!
