Półksiężycowa część grafitowa powlekana SiC do pieca epitaksjalnego z węglika krzemu

Krótki opis:

VET Energy jest profesjonalnym producentem i dostawcą podstawowych komponentów pieców epitaksjalnych z węglika krzemu. Nasz półksiężycowy element grafitowy powlekany SiC wykorzystuje grafit o wysokiej czystości w połączeniu z zaawansowaną technologią powlekania CVD. Jest on przeznaczony do wysokotemperaturowych i wysoce korozyjnych środowisk epitaksjalnych. Grafit o wysokiej czystości zapewnia komponentowi doskonałą odporność na wysokie temperatury (>1600℃) i stabilność termiczną, zapewniając jednorodność pola termicznego; powłoka CVD tworzy gęstą warstwę ochronną na powierzchni dzięki technologii CVD, znacznie poprawiając właściwości przeciwutleniające i przeciwtrawienne oraz wydłużając żywotność ponad 3-krotnie.

Tworzywo:Wysokiej czystości grafit

Oczyszczenie:＜5 stron na minutę

Powłoka:CVD-SiC lub CVD-TaC

Personalizacja:Piec markowy czy OEM

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Część półksiężycowa z grafitu powlekanego SiCjest kluczowym komponentem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w przypadku urządzeń epitaksjalnych SiC. Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby wytwarzać część półksiężyca o niezwykle wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także o wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.

Materiał bazowy: grafit o wysokiej czystości
Wymagania czystości:zawartość węgla ≥99,99%, zawartość popiołu ≤5 ppm, aby mieć pewność, że w wysokich temperaturach nie wytrącą się żadne zanieczyszczenia mogące zanieczyścić warstwę epitaksjalną.
Zalety wydajnościowe:
Wysoka przewodność cieplna:Przewodność cieplna w temperaturze pokojowej osiąga 150 W/(m·K), co jest wartością zbliżoną do miedzi, co pozwala na szybkie przenoszenie ciepła.
Niski współczynnik rozszerzalności:5×10^-6/℃ (25-1000℃), pasujące do podłoża z węglika krzemu (4,2×10^-6/℃), co zmniejsza pękanie powłoki spowodowane naprężeniami termicznymi.
Dokładność przetwarzania:Tolerancja wymiarowa na poziomie ±0,05 mm jest osiągana dzięki obróbce CNC, co gwarantuje szczelność komory.

Zróżnicowane zastosowania CVD SiC i CVD TaC

Powłoka	Proces	Porównanie	Typowe zastosowanie
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Ciśnienie: 10-100 Torr	Twardość HV2500, grubość 50-100um, doskonała odporność na utlenianie (stabilność poniżej 1600℃)	Uniwersalne piece epitaksjalne, odpowiednie do konwencjonalnych atmosfer, takich jak wodór i silan
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Ciśnienie: 1-10 Torr	Twardość HV3000, grubość 20-50um, wyjątkowo odporna na korozję (wytrzymuje działanie gazów żrących takich jak HCl, NH₃ itp.)	Środowiska silnie korozyjne (takie jak urządzenia do epitaksji i trawienia GaN) lub specjalne procesy wymagające bardzo wysokich temperatur rzędu 2600°C

Kontrola jakości

Grubość powłoki: pomiar grubości laserem (dokładność ±1um) lub analiza przekroju SEM.
Wytrzymałość wiązania: test zarysowania (obciążenie krytyczne > 50 N) lub badanie ultradźwiękowe (prędkość dźwięku > 5000 m/s).
Odporność na korozję: szybkość utraty masy (<0,1 mg/cm²・h) badana w atmosferze HCl (5% obj., 1600℃).

VET Energy to profesjonalny producent skupiający się na badaniach i rozwoju oraz produkcji zaawansowanych materiałów najwyższej jakości, takich jak grafit, węglik krzemu, kwarc, a także na obróbce materiałów, takiej jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energetyce, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Zalety VET Energy obejmują:
• Własna fabryka i profesjonalne laboratorium;
• Najwyższe w branży poziomy czystości i jakości;
• Konkurencyjna cena i szybki czas dostawy;
• Liczne partnerstwa branżowe na całym świecie;

Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki i laboratorium w dowolnym momencie!