SiC gecoat grafiet halfmaan onderdeelis een belangrijk onderdeel in halfgeleiderproductieprocessen, met name voor epitaxiale SiC-apparatuur. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om het halvemaanvormige onderdeel te produceren met een extreem hoge zuiverheid, een goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.
Basismateriaal: grafiet met hoge zuiverheid
Zuiverheidseisen:koolstofgehalte ≥99,99%, asgehalte ≤5 ppm, om ervoor te zorgen dat er geen onzuiverheden neerslaan die de epitaxiale laag bij hoge temperaturen verontreinigen.
Prestatievoordelen:
Hoge thermische geleidbaarheid:De thermische geleidbaarheid bij kamertemperatuur bedraagt 150 W/(m·K), wat dicht bij het niveau van koper ligt en snel warmte kan overdragen.
Lage uitzettingscoëfficiënt:5×10-6/℃ (25-1000℃), passend bij het siliciumcarbidesubstraat (4,2×10-6/℃), waardoor het scheuren in de coating als gevolg van thermische spanning wordt verminderd.
Verwerkingsnauwkeurigheid:Door middel van CNC-bewerking wordt een maattolerantie van ±0,05 mm bereikt, waardoor de afdichting van de kamer wordt gewaarborgd.
Gedifferentieerde toepassingen van CVD SiC en CVD TaC
| Coating | Proces | Vergelijking | Typische toepassing |
| CVD-SiC | Temperatuur: 1000-1200℃Druk: 10-100 Torr | Hardheid HV2500, dikte 50-100 µm, uitstekende oxidatiebestendigheid (stabiel onder 1600 ℃) | Universele epitaxiale ovens, geschikt voor conventionele atmosferen zoals waterstof en silaan |
| CVD-TaC | Temperatuur: 1600-1800℃Druk: 1-10 Torr | Hardheid HV3000, dikte 20-50um, extreem corrosiebestendig (bestand tegen corrosieve gassen zoals HCl, NH₃, etc.) | Zeer corrosieve omgevingen (zoals GaN-epitaxie en etsapparatuur) of speciale processen waarbij extreem hoge temperaturen van 2600°C nodig zijn |
Kwaliteitscontrole
Laagdikte: laserdiktemeter (nauwkeurigheid ±1 µm) of SEM-dwarsdoorsnedeanalyse.
Verbindingssterkte: krasproef (kritische belasting > 50N) of ultrasoon onderzoek (geluidssnelheid > 5000 m/s).
Corrosiebestendigheid: massaverliessnelheid (<0,1 mg/cm²・h) getest in HCl-atmosfeer (5 vol%, 1600℃).
VET Energy is een professionele fabrikant die zich richt op R&D en de productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen zoals grafiet, siliciumcarbide en kwarts. Ook biedt het materiaalbehandelingen aan zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. De producten worden veel gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleidertechnologie, nieuwe energie, metallurgie, enz.
Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.
Voordelen van VET Energy zijn onder andere:
• Eigen fabriek en professioneel laboratorium;
• Toonaangevende zuiverheidsniveaus en kwaliteit;
• Concurrerende prijs en snelle levertijd;
• Meerdere industriële partnerschappen wereldwijd;
U bent van harte welkom om onze fabriek en ons laboratorium te bezoeken!
