SiC-gecoat grafiet halfrond onderdeelHet is een essentieel onderdeel dat gebruikt wordt in halfgeleiderproductieprocessen, met name voor SiC-epitaxiale apparatuur. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om het halfronde onderdeel te produceren met een extreem hoge zuiverheid, goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.
Basismateriaal: grafiet van hoge zuiverheid
Zuiverheidseisen:koolstofgehalte ≥99,99%, asgehalte ≤5 ppm, om te garanderen dat er geen onzuiverheden neerslaan die de epitaxiale laag bij hoge temperaturen kunnen verontreinigen.
Prestatievoordelen:
Hoge thermische geleidbaarheid:De thermische geleidbaarheid bij kamertemperatuur bedraagt 150 W/(m·K), wat dicht bij het niveau van koper ligt en zorgt voor een snelle warmteoverdracht.
Lage uitzettingscoëfficiënt:5×10-6/℃ (25-1000℃), passend bij het siliciumcarbide substraat (4,2×10-6/℃), waardoor het barsten van de coating als gevolg van thermische spanning wordt verminderd.
Verwerkingsnauwkeurigheid:Door middel van CNC-bewerking wordt een maattolerantie van ±0,05 mm bereikt om de afdichting van de kamer te garanderen.
Gedifferentieerde toepassingen van CVD SiC en CVD TaC
| Coating | Proces | Vergelijking | Typische toepassing |
| CVD-SiC | Temperatuur: 1000-1200℃ Druk: 10-100 Torr | Hardheid HV2500, dikte 50-100 µm, uitstekende oxidatieweerstand (stabiel onder 1600℃) | Universele epitaxiale ovens, geschikt voor conventionele atmosferen zoals waterstof en silaan. |
| CVD-TaC | Temperatuur: 1600-1800℃Druk: 1-10 Torr | Hardheid HV3000, dikte 20-50 µm, extreem corrosiebestendig (bestand tegen corrosieve gassen zoals HCl, NH₃, enz.). | Zeer corrosieve omgevingen (zoals GaN-epitaxie en etsapparatuur) of speciale processen die ultrahoge temperaturen van 2600 °C vereisen. |
Kwaliteitsinspectie
Laagdikte: laserdiktemeter (nauwkeurigheid ±1 µm) of SEM-doorsnedeanalyse.
Hechtsterkte: krasproef (kritische belasting > 50 N) of ultrasoon onderzoek (geluidssnelheid > 5000 m/s).
Corrosiebestendigheid: massaverliespercentage (<0,1 mg/cm²·h) getest in een HCl-atmosfeer (5 vol%, 1600℃).
VET Energy is een professionele fabrikant die zich richt op de R&D en productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen zoals grafiet, siliciumcarbide en kwarts, evenals materiaalbehandelingen zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. De producten worden veelvuldig gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleiders, nieuwe energiebronnen, metallurgie, enz.
Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.
De voordelen van VET Energy omvatten:
• Eigen fabriek en professioneel laboratorium;
• Toonaangevende zuiverheidsniveaus en kwaliteit in de branche;
• Concurrerende prijs & snelle levertijd;
• Diverse samenwerkingsverbanden met verschillende sectoren wereldwijd;
U bent van harte welkom om onze fabriek en ons laboratorium op elk gewenst moment te bezoeken!
