SiC bevonatú grafit félhold alakú alkatrészkulcsfontosságú alkatrész a félvezetőgyártási folyamatokban, különösen a SiC epitaxiális berendezésekben. Szabadalmaztatott technológiánkat alkalmazva a félhold alakú alkatrészt rendkívül nagy tisztaságú, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyi ellenálló képességgel és hőstabilitással állítjuk elő.
Alapanyag: nagy tisztaságú grafit
Tisztasági követelmények:széntartalom ≥99,99%, hamutartalom ≤5 ppm, hogy magas hőmérsékleten ne csapódjanak ki szennyeződések, amelyek szennyeznék az epitaxiális réteget.
Teljesítménybeli előnyök:
Magas hővezető képesség:Szobahőmérsékleten a hővezető képessége eléri a 150 W/(m·K) értéket, ami közel áll a réz szintjéhez, és gyorsan képes hőt átadni.
Alacsony hőtágulási együttható:5×10-6/℃ (25-1000℃), illeszkedve a szilícium-karbid hordozóhoz (4,2×10-6/℃), csökkentve a bevonat hőfeszültség okozta repedését.
Feldolgozási pontosság:A kamra tömítésének biztosítása érdekében CNC megmunkálással ±0,05 mm-es mérettűrést érnek el.
A CVD SiC és a CVD TaC differenciált alkalmazásai
| Bevonat | Folyamat | Összehasonlítás | Tipikus alkalmazás |
| CVD-SiC | Hőmérséklet: 1000-1200 ℃ Nyomás: 10-100 Torr | Keménység HV2500, vastagság 50-100 µm, kiváló oxidációs ellenállás (1600 ℃ alatt stabil) | Univerzális epitaxiális kemencék, amelyek alkalmasak hagyományos atmoszférákhoz, például hidrogénhez és szilánhoz |
| CVD-TaC | Hőmérséklet: 1600-1800 ℃ Nyomás: 1-10 Torr | HV3000 keménység, 20-50 µm vastagság, rendkívül korrózióálló (ellenáll a korrozív gázoknak, például HCl-nek, NH₃-nak stb.) | Rendkívül korrozív környezetek (például GaN epitaxia és maratási berendezések), vagy olyan speciális folyamatok, amelyek 2600°C-os ultramagas hőmérsékletet igényelnek |
Minőségellenőrzés
Bevonat vastagsága: lézeres vastagságmérő (pontosság ±1 µm) vagy SEM keresztmetszeti elemzés.
Kötési szilárdság: karcvizsgálat (kritikus terhelés > 50 N) vagy ultrahangos vizsgálat (hangsebesség > 5000 m/s).
Korrózióállóság: tömegveszteségi sebesség (<0,1 mg/cm²・h) HCl atmoszférában (5 térfogat%, 1600 ℃) tesztelve.
A VET Energy egy professzionális gyártó, amely a csúcskategóriás, fejlett anyagok, például grafit, szilícium-karbid, kvarc kutatás-fejlesztésére és gyártására, valamint az olyan anyagkezelésekre összpontosít, mint a SiC bevonat, TaC bevonat, üvegkarbon bevonat, pirolitikus szén bevonat stb. A termékeket széles körben használják fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb. területeken.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
A VET Energy előnyei a következők:
• Saját gyár és professzionális laboratórium;
• Iparágvezető tisztasági szintek és minőség;
• Versenyképes ár és gyors szállítási idő;
• Több iparági partnerség világszerte;
Szeretettel várjuk gyárunkat és laboratóriumunkat bármikor!
