SiC-beschichtetes Graphit-Halbmondteil für Siliziumkarbid-Epitaxieofen

Kurze Beschreibung:

VET Energy ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von Kernkomponenten für Siliziumkarbid-Epitaxieöfen. Unser SiC-beschichtetes Graphithalbmondteil verwendet hochreinen Graphit in Kombination mit fortschrittlicher CVD-Beschichtungstechnologie. Es ist für Hochtemperatur- und stark korrosive Epitaxieumgebungen konzipiert. Der hochreine Graphit verleiht dem Bauteil eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit (> 1600 °C) und thermische Stabilität und gewährleistet so die Gleichmäßigkeit des thermischen Feldes. Die CVD-Beschichtung bildet durch CVD-Technologie eine dichte Schutzschicht auf der Oberfläche, verbessert die Oxidations- und Ätzbeständigkeit deutlich und verlängert die Lebensdauer um mehr als das Dreifache.

Material:Hochreiner Graphit

Reinigung:＜5 ppm

Beschichtung:CVD-SiC oder CVD-TaC

Anpassung:Markenofen oder OEM

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Produktdetail

Produkt Tags

SiC-beschichtetes Graphit-Halbmondteilist eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterherstellung, insbesondere für SiC-Epitaxieanlagen. Mit unserer patentierten Technologie fertigen wir Halbmondteile mit extrem hoher Reinheit, gleichmäßiger Beschichtung und hervorragender Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität.

Basismaterial: hochreiner Graphit
Reinheitsanforderungen:Kohlenstoffgehalt ≥99,99 %, Aschegehalt ≤5 ppm, um sicherzustellen, dass keine Verunreinigungen ausfallen, die die epitaktische Schicht bei hohen Temperaturen verunreinigen.
Leistungsvorteile:
Hohe Wärmeleitfähigkeit:Die Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur erreicht 150 W/(m·K), was nahe an dem Niveau von Kupfer liegt und Wärme schnell übertragen kann.
Niedriger Ausdehnungskoeffizient:5×10^-6/℃ (25-1000℃), passend zum Siliziumkarbidsubstrat (4,2×10^-6/℃), wodurch die durch thermische Spannung verursachte Rissbildung der Beschichtung verringert wird.
Verarbeitungsgenauigkeit:Durch CNC-Bearbeitung wird eine Maßtoleranz von ±0,05 mm erreicht, um die Abdichtung der Kammer zu gewährleisten.

Differenzierte Anwendungen von CVD SiC und CVD TaC

Beschichtung	Verfahren	Vergleich	Typische Anwendung
CVD-SiC	Temperatur: 1000–1200 °C. Druck: 10–100 Torr.	Härte HV2500, Dicke 50–100 µm, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit (stabil unter 1600 °C)	Universelle Epitaxieöfen, geeignet für konventionelle Atmosphären wie Wasserstoff und Silan
CVD-TaC	Temperatur: 1600–1800 °C. Druck: 1–10 Torr.	Härte HV3000, Dicke 20–50 µm, extrem korrosionsbeständig (hält korrosiven Gasen wie HCl, NH₃ usw. stand)	Hochkorrosive Umgebungen (wie z. B. GaN-Epitaxie- und Ätzgeräte) oder spezielle Prozesse, die ultrahohe Temperaturen von 2600 °C erfordern

Qualitätsprüfung

Beschichtungsdicke: Laserdickenmessung (Genauigkeit ±1 µm) oder SEM-Querschnittsanalyse.
Haftfestigkeit: Kratztest (kritische Belastung > 50N) oder Ultraschallprüfung (Schallgeschwindigkeit > 5000m/s).
Korrosionsbeständigkeit: Massenverlustrate (<0,1 mg/cm²・h) getestet in HCl-Atmosphäre (5 Vol.-%, 1600 °C).

VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion hochwertiger, fortschrittlicher Materialien wie Graphit, Siliziumkarbid und Quarz sowie auf die Materialbehandlung wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. konzentriert. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, neuen Energien, Metallurgie usw.

Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionellere Materiallösungen bieten.

Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheitsgrade und Qualität;
• Konkurrenzfähiger Preis und schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

Wir heißen Sie jederzeit herzlich willkommen, unsere Fabrik und unser Labor zu besuchen!