Piesă semilună din grafit acoperită cu SiC pentru cuptorul epitaxial cu carbură de siliciu

Scurtă descriere:

VET Energy este un producător și furnizor profesionist de componente de bază pentru cuptoare epitaxiale din carbură de siliciu. Piesa noastră semilună din grafit acoperit cu SiC utilizează grafit de înaltă puritate combinat cu tehnologie avansată de acoperire CVD. Este concepută pentru medii epitaxiale la temperaturi ridicate și extrem de corozive. Grafitul de înaltă puritate conferă componentei o rezistență excelentă la temperaturi ridicate (>1600℃) și stabilitate termică, asigurând uniformitatea câmpului termic; acoperirea CVD formează un strat protector dens pe suprafață prin tehnologia CVD, îmbunătățind semnificativ proprietățile antioxidante și anti-gravare și prelungind durata de viață de peste 3 ori.

Material:Grafit de înaltă puritate

Purificare:<5 ppm

Acoperire:CVD-SiC sau CVD-TaC

Personalizare:Cuptor de marcă sau OEM

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Piesă semilună din grafit acoperită cu SiCeste o componentă cheie utilizată în procesele de fabricație a semiconductorilor, în special pentru echipamentele epitaxiale SiC. Folosim tehnologia noastră patentată pentru a realiza piesa semilună cu o puritate extrem de ridicată, o uniformitate bună a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și proprietăți ridicate de rezistență chimică și stabilitate termică.

Material de bază: grafit de înaltă puritate
Cerințe de puritate:conținut de carbon ≥99,99%, conținut de cenușă ≤5ppm, pentru a se asigura că nu precipită impurități care să contamineze stratul epitaxial la temperaturi ridicate.
Avantaje de performanță:
Conductivitate termică ridicată:Conductivitatea termică la temperatura camerei atinge 150W/(m・K), aproape de nivelul cuprului și poate transfera rapid căldura.
Coeficient de dilatare scăzut:5×10^-6/℃ (25-1000℃), potrivindu-se substratului de carbură de siliciu (4,2×10^-6/℃), reducând fisurarea stratului de acoperire cauzată de stresul termic.
Precizia procesării:Prin prelucrare CNC se obține o toleranță dimensională de ±0,05 mm pentru a asigura etanșarea camerei.

Aplicații diferențiate ale SiC CVD și TaC CVD

Acoperire	Proces	Comparaţie	Aplicație tipică
CVD-SiC	Temperatură: 1000-1200℃ Presiune: 10-100 Torr	Duritate HV2500, grosime 50-100um, rezistență excelentă la oxidare (stabilă sub 1600℃)	Cuptoare epitaxiale universale, potrivite pentru atmosfere convenționale precum hidrogen și silan
TaC-BCV	Temperatură: 1600-1800℃ Presiune: 1-10 Torr	Duritate HV3000, grosime 20-50 µm, extrem de rezistent la coroziune (poate rezista la gaze corozive precum HCl, NH₃ etc.)	Medii extrem de corozive (cum ar fi epitaxia GaN și echipamentele de gravare) sau procese speciale care necesită temperaturi ultra-ridice de 2600°C

Inspecția calității

Grosimea stratului de acoperire: măsurător laser pentru grosime (precizie ±1 um) sau analiză transversală SEM.
Rezistența la aderență: test la zgârietură (sarcină critică > 50N) sau test cu ultrasunete (viteza sunetului > 5000m/s).
Rezistență la coroziune: rata de pierdere în masă (<0,1 mg/cm²・h) testată în atmosferă de HCl (5% vol., 1600℃).

VET Energy este un producător profesionist axat pe cercetare și dezvoltare și producția de materiale avansate de înaltă calitate, cum ar fi grafit, carbură de siliciu, cuarț, precum și pe tratarea materialelor, cum ar fi acoperirea cu SiC, acoperirea cu TaC, acoperirea cu carbon vitros, acoperirea cu carbon pirolitic etc. Produsele sunt utilizate pe scară largă în fotovoltaică, semiconductori, energie nouă, metalurgie etc.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Avantajele VET Energy includ:
• Fabrică proprie și laborator profesional;
• Niveluri de puritate și calitate de vârf în industrie;
• Preț competitiv și timp de livrare rapid;
• Multiple parteneriate industriale la nivel mondial;

Vă invităm să vizitați fabrica și laboratorul nostru oricând!