Duonluna Parto el SiC-Tegaĵo de Grafitoestas ŝlosila komponanto uzata en duonkonduktaĵaj fabrikadprocezoj, precipe por SiC-epitaksa ekipaĵo. Ni uzas nian patentitan teknologion por fari la duonlunan parton kun ekstreme alta pureco, bona tegaĵa homogeneco kaj bonega servodaŭro, same kiel alta kemia rezisto kaj termikaj stabilecaj ecoj.
Baza materialo: altpureca grafito
Purecpostuloj:karbona enhavo ≥99.99%, cindra enhavo ≤5ppm, por certigi, ke neniuj malpuraĵoj precipitiĝas por polui la epitaksian tavolon je altaj temperaturoj.
Efikecaj avantaĝoj:
Alta varmokondukteco:La varmokondukteco je ĉambra temperaturo atingas 150W/(m・K), kio estas proksima al la nivelo de kupro kaj povas rapide transdoni varmon.
Malalta ekspansia koeficiento:5×10-6/℃ (25-1000℃), kongruante kun la substrato de siliciokarbido (4.2×10-6/℃), reduktante la fendeton de la tegaĵo kaŭzitan de termika streso.
Precizeco de prilaborado:Dimensia toleremo de ±0.05mm estas atingita per CNC-maŝinado por certigi la sigeladon de la ĉambro.
Diferencigitaj aplikoj de CVD SiC kaj CVD TaC
| Tegaĵo | Procezo | Komparo | Tipa apliko |
| CVD-SiC | Temperaturo: 1000-1200℃ Premo: 10-100 Torr | Malmoleco HV2500, dikeco 50-100um, bonega oksidiĝa rezisto (stabila sub 1600℃) | Universalaj epitaksiaj fornoj, taŭgaj por konvenciaj atmosferoj kiel hidrogeno kaj silano |
| CVD-TaC | Temperaturo: 1600-1800℃ Premo: 1-10 Toroj | Malmoleco HV3000, dikeco 20-50 µm, ekstreme korodorezista (povas elteni korodajn gasojn kiel HCl, NH₃, ktp.) | Tre korodaj medioj (kiel ekzemple GaN-epitaksio kaj gratvunda ekipaĵo), aŭ specialaj procezoj postulantaj ultra-altajn temperaturojn de 2600 °C |
Kvalitkontrolo
Tegaĵa dikeco: lasera dikecmezurilo (precizeco ±1um) aŭ SEM-transversa analizo.
Ligforto: grattesto (kritika ŝarĝo > 50N) aŭ ultrasona testado (sonrapideco > 5000m/s).
Kororezisto: masperda indico (<0.1 mg/cm²・h) testita en HCl-atmosfero (5 vol%, 1600℃).
VET Energy estas profesia fabrikanto, kiu specialiĝas pri esplorado kaj disvolvado kaj produktado de altkvalitaj progresintaj materialoj kiel grafito, siliciokarbido, kvarco, kaj ankaŭ pri materialtraktado kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbon-tegaĵo, piroliza karbon-tegaĵo, ktp. La produktoj estas vaste uzataj en fotovoltaiko, duonkonduktaĵo, nova energio, metalurgio, ktp.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.
La avantaĝoj de VET Energy inkluzivas:
• Propra fabriko kaj profesia laboratorio;
• Industri-gvidaj purecniveloj kaj kvalito;
• Konkurenciva prezo kaj rapida livertempo;
• Multnombraj industriaj partnerecoj tutmonde;
Ni bonvenigas vin viziti nian fabrikon kaj laboratorion iam ajn!
