SiC Coated Graphite Halfmoon Partເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະສໍາລັບອຸປະກອນ SiC epitaxial. ພວກເຮົາໃຊ້ເທກໂນໂລຍີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ສ່ວນຫນຶ່ງຂອງ halfmoon ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການເຄືອບທີ່ດີແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງແລະຄຸນສົມບັດສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ.
ວັດສະດຸພື້ນຖານ: graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດ:ເນື້ອໃນກາກບອນ≥99.99%, ເນື້ອໃນຂີ້ເທົ່າ≤5ppm, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີ impurities precipitated ປົນເປື້ອນຊັ້ນ epitaxial ໃນອຸນຫະພູມສູງ.
ຂໍ້ດີການປະຕິບັດ:
ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ:ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງສູງເຖິງ 150W / (m·K), ຊຶ່ງໃກ້ກັບລະດັບຂອງທອງແດງແລະສາມາດໂອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ.
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ໍາ:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), ຈັບຄູ່ substrate ຊິລິຄອນ carbide (4.2 × 10.-6/ ℃), ຫຼຸດຜ່ອນຮອຍແຕກຂອງການເຄືອບທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ.
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປະມວນຜົນ:ຄວາມທົນທານໃນມິຕິລະດັບຂອງ ± 0.05mm ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານເຄື່ອງຈັກ CNC ເພື່ອຮັບປະກັນການຜະນຶກຂອງຫ້ອງ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ CVD SiC ແລະ CVD TaC
| ການເຄືອບ | ຂະບວນການ | ການປຽບທຽບ | ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ |
| CVD-SiC | ອຸນຫະພູມ: 1000-1200 ℃ ຄວາມກົດດັນ: 10-100 Torr | ຄວາມແຂງ HV2500, ຄວາມຫນາ 50-100um, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ (ຄວາມຫມັ້ນຄົງຕ່ໍາກວ່າ 1600 ℃) | furnaces epitaxial ທົ່ວໄປ, ເຫມາະສໍາລັບບັນຍາກາດທໍາມະດາເຊັ່ນ: hydrogen ແລະ silane |
| CVD-TaC | ອຸນຫະພູມ: 1600-1800 ℃ ຄວາມກົດດັນ: 1-10 Torr | ຄວາມແຂງ HV3000, ຄວາມຫນາ 20-50um, ທົນທານຕໍ່ corrosion ທີ່ສຸດ (ສາມາດທົນທານຕໍ່ທາດອາຍຜິດ corrosive ເຊັ່ນ HCl, NH₃, ແລະອື່ນໆ). | ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີ corrosive ສູງ (ເຊັ່ນ: GaN epitaxy ແລະອຸປະກອນ etching), ຫຼືຂະບວນການພິເສດທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງສຸດຂອງ 2600 ° C. |
ການກວດກາຄຸນນະພາບ
ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຫນາຂອງເລເຊີ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ± 1um) ຫຼື SEM ການວິເຄາະທາງຂວາງ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດ: ການທົດສອບຮອຍຂີດຂ່ວນ (ການໂຫຼດທີ່ສໍາຄັນ> 50N) ຫຼືການທົດສອບ ultrasonic (ຄວາມໄວສຽງ> 5000m/s).
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອັດຕາການສູນເສຍມະຫາຊົນ (<0.1 mg/cm²・h) ທົດສອບໃນບັນຍາກາດ HCl (5 vol%, 1600 ℃).
VET Energy ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບທີ່ສຸມໃສ່ R&D ແລະການຜະລິດວັດສະດຸຂັ້ນສູງເຊັ່ນ graphite, silicon carbide, quartz, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການປິ່ນປົວວັດສະດຸເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ເຄືອບແກ້ວແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ. ຜະລິດຕະພັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, semiconductor, ພະລັງງານໃຫມ່, metalclurgy.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງພະລັງງານ VET ປະກອບມີ:
•ໂຮງງານຂອງຕົນເອງແລະຫ້ອງທົດລອງມືອາຊີບ;
•ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດຊັ້ນນໍາໃນອຸດສາຫະກໍາແລະຄຸນນະພາບ;
•ລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ & ເວລາການຈັດສົ່ງໄວ;
• ການຮ່ວມມືຫຼາຍດ້ານອຸດສາຫະກໍາທົ່ວໂລກ;
ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານແລະຫ້ອງທົດລອງຂອງພວກເຮົາໄດ້ທຸກເວລາ!
