ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງວົງເດືອນກຣາໄຟດເຄືອບ SiCເປັນອົງປະກອບຫຼັກທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບອຸປະກອນ SiC epitaxial. ພວກເຮົາໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງວົງເດືອນມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ, ມີຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບທີ່ດີ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ດີເລີດ, ພ້ອມທັງມີຄຸນສົມບັດຕ້ານທານສານເຄມີສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ.
ວັດສະດຸພື້ນຖານ: ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ຂໍ້ກຳນົດຄວາມບໍລິສຸດ:ປະລິມານຄາບອນ ≥99.99%, ປະລິມານຂີ້ເທົ່າ ≤5ppm, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີສິ່ງເຈືອປົນຕົກຕະກອນເພື່ອປົນເປື້ອນຊັ້ນ epitaxial ໃນອຸນຫະພູມສູງ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານປະສິດທິພາບ:
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ:ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມຫ້ອງບັນລຸ 150W/(m・K), ເຊິ່ງໃກ້ຄຽງກັບລະດັບທອງແດງ ແລະ ສາມາດຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວ.
ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ຳ:5 × 10-6/℃ (25-1000℃), ກົງກັບຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກອນຄາໄບ (4.2 × 10-6/℃), ການຫຼຸດຜ່ອນການແຕກຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປະມວນຜົນ:ຄວາມທົນທານຂອງມິຕິ ±0.05 ມມ ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານເຄື່ອງຈັກ CNC ເພື່ອຮັບປະກັນການຜະນຶກຂອງຫ້ອງ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ CVD SiC ແລະ CVD TaC
| ການເຄືອບ | ຂະບວນການ | ການປຽບທຽບ | ການນຳໃຊ້ທົ່ວໄປ |
| CVD-SiC | ອຸນຫະພູມ: 1000-1200 ℃ ຄວາມກົດດັນ: 10-100 Torr | ຄວາມແຂງ HV2500, ຄວາມໜາ 50-100um, ຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ (ໝັ້ນຄົງຕໍ່າກວ່າ 1600 ℃) | ເຕົາເຜົາ epitaxial ທົ່ວໄປ, ເໝາະສຳລັບບັນຍາກາດທຳມະດາເຊັ່ນ: ໄຮໂດຣເຈນ ແລະ ໄຊເລນ |
| CVD-TaC | ອຸນຫະພູມ: 1600-1800 ℃ ຄວາມດັນ: 1-10 Torr | ຄວາມແຂງ HV3000, ຄວາມໜາ 20-50um, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງ (ສາມາດທົນທານຕໍ່ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເຊັ່ນ HCl, NH₃, ແລະອື່ນໆ) | ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການກັດກ່ອນສູງ (ເຊັ່ນ: GaN epitaxy ແລະອຸປະກອນ etching), ຫຼືຂະບວນການພິເສດທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງພິເສດເຖິງ 2600°C |
ການກວດກາຄຸນນະພາບ
ຄວາມໜາຂອງເຄືອບ: ເຄື່ອງວັດຄວາມໜາຂອງເລເຊີ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ± 1um) ຫຼື ການວິເຄາະຕັດຂວາງ SEM.
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດ: ການທົດສອບຮອຍຂີດຂ່ວນ (ການໂຫຼດທີ່ສຳຄັນ > 50N) ຫຼື ການທົດສອບດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ (ຄວາມໄວສຽງ > 5000 ແມັດ/ວິນາທີ).
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ອັດຕາການສູນເສຍມວນສານ (<0.1 mg/cm²・h) ທົດສອບໃນບັນຍາກາດ HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບທີ່ສຸມໃສ່ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸຂັ້ນສູງເຊັ່ນ: ແກຣໄຟ, ຊິລິກອນຄາໄບ, ຄວດສ໌, ພ້ອມທັງການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບຄາບອນແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ, ແລະອື່ນໆ. ຜະລິດຕະພັນດັ່ງກ່າວໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດພະລັງງານແສງອາທິດ, ເຄິ່ງຕົວນໍາ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂລຫະ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດໃຫ້ການແກ້ໄຂບັນຫາດ້ານວັດສະດຸທີ່ເປັນມືອາຊີບຫຼາຍຂຶ້ນສໍາລັບທ່ານ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ VET Energy ປະກອບມີ:
• ໂຮງງານ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງມືອາຊີບຂອງຕົນເອງ;
• ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄຸນນະພາບຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາ;
• ລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ ແລະ ເວລາສົ່ງສິນຄ້າໄວ;
• ການຮ່ວມມືດ້ານອຸດສາຫະກໍາຫຼາຍແຫ່ງທົ່ວໂລກ;
ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານມາຢ້ຽມຢາມໂຮງງານ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງຂອງພວກເຮົາໄດ້ທຸກເວລາ!
